无尘室 ·低粒子数的人造环境 ·最初的无尘室是为了医院手术房而建的 ·粒子是成品率的杀手 ·集成电路制造必须在无尘室中进行 22
22 无尘室 • 低粒子数的人造环境 • 最初的无尘室是为了医院手术房而建的 • 粒子是成品率的杀手 • 集成电路制造必须在无尘室中进行
依联邦标准209E定义所制定之空气 含微粒子的洁淨等级表 粒子/立方英尺 等级 0.lum 0.2μm 0.3μm 0.5um 5μm M-1 9.8 2.12 0.865 0.28 1 35 7.5 3 10 350 75 30 10 100 750 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70 23
23 依联邦标准209E定义所制定之空气 含微粒子的洁凈等级表 等级 粒子 / 立方英尺 0.1mm 0.2mm 0.3mm 0.5mm 5mm M-1 9.8 2.12 0.865 0.28 1 35 7.5 3 1 10 350 75 30 10 100 750 300 100 1000 1000 7 10000 10000 70
概要 ·整体成品率 ·成品率决定生产工厂的盈亏 ·无尘室和无尘室协议规范 ·制程区间 ·制程，设备，以及设备区 ·晶粒测试，晶圆薄化，品粒分离，芯片封装， 以及最后测试 24
24 概要 • 整体成品率 • 成品率决定生产工厂的盈亏 • 无尘室和无尘室协议规范 • 制程区间 • 制程, 设备, 以及设备区 • 晶粒测试, 晶圆薄化,晶粒分离, 芯片封裝, 以及最后测试
Chapter 3 半导体基础 25
25 Chapter 3 半导体基础
原子结构 质子 (正电 原子数 电子 (质子数) (负电荷) 核心（原子中心；包 含质子和中子) 轨道壳 中子 价电子 (中性) 价电壳 (原子外壳) 碳原子：原子核包含相同数 目的质子(+)和中子，6个 电子（一）绕原子核外围轨 道运转。 26
原子结构 26 碳原子：原子核包含相同数 目的质子 (+) 和中子，6个 电子 (-) 绕原子核外围轨 道运转。 价电子 电子 (负电荷) 中子 (中性) 原子数 (质子数) 核心 (原子中心；包 含质子和中子) 轨道壳 质子 (正电荷) 价电壳 (原子外壳) C 6 + N + N + N N + + N + N - - - - - -