半导体制造技术导论 Chapter 1导论
半导体制造技术导论 Chapter 1导论
主题 ·集成电路发展简介 ·集成电路组件和设计 ·半导体制程 ·未来的走向 5
5 主题 • 集成电路发展简介 • 集成电路组件和设计 • 半导体制程 • 未来的走向
简介 ·第一个晶体管，AT&T贝尔实验室，1947 图1.世界上第一个固态锗制成的晶体管 6
6 简介 • 第一个晶体管，AT&T贝尔实验室, 1947 图1.世界上第一个固态锗制成的晶体管
第一个晶体管的发明者 约翰巴丁，威廉·肖克莱和华特·布莱登 照片提供：Lucent Technologies Inc. 7
7 约翰‧巴丁，威廉‧肖克莱 和 华特‧布莱登 照片提供:Lucent Technologies Inc. 第一个晶体管的发明者
半导体材料 l、锗(Ge) 锗是最早用于制造半导体器件材料之 一， 1947年巴丁、布莱登、肖克莱使用锗制造世界上 第一支晶体管。 Oxide Gate Source Drain n+ ◆X n+ 关闭状态的晶体管 Body 晶体管原理 导通状态的晶体管
半导体材料 1、锗（Ge） 锗是最早用于制造半导体器件材料之一， 1947年巴丁、布莱登、肖克莱使用锗制造世界上 第一支晶体管。 关闭状态的晶体管 晶体管原理 导通状态的晶体管