Chapter9蚀刻 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 1 Chapter 9 蚀刻
蚀刻的定义 ·移除晶圆表面的材料 ·选择性蚀刻或是整面全区蚀刻 ·选择性蚀刻是将光刻胶上的C设计图案转移 到晶圆表面 ·化学蚀刻，物理蚀刻或是两者的组合 ·其他的应用：光刻版制作等 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 2 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 2 蚀刻的定义 • 移除晶圆表面的材料 • 选择性蚀刻或是整面全区蚀刻 • 选择性蚀刻是将光刻胶上的IC设计图案转移 到晶圆表面 • 化学蚀刻, 物理蚀刻 或是两者的组合 • 其他的应用:光刻版制作等
栅极光刻版对准 栅极光刻版 光刻胶 多晶硅 STI USG P型井区 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 3 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 3 栅极光刻版对准 P型井区 STI USG 多晶硅 光刻胶 栅极光刻版
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显影/硬烘烤/检视 光刻胶 多晶硅 STI USG P型井区 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 5 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 5 显影/硬烘烤/检视 STI USG P型井区 多晶硅 光刻胶