Chapter11金属化工艺 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 1 Chapter 11金属化工艺
目标 ·解释金属化制成的组件应用 ·列出最常使用的三种材料 ·列出三种金属沉积的方法 ·说明溅镀工艺 ·解释在金属沉积工艺中高真空需求的目 的 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 2 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 2 目标 • 解释金属化制成的组件应用 • 列出最常使用的三种材料 • 列出三种金属沉积的方法 • 说明溅镀工艺 • 解释在金属沉积工艺中高真空需求的目 的
金属化工艺 ·定义 ·应用 ·物理气相沉积Vs.化学气相沉积 ·方法 ·真空 ·金属 ·工艺 ·未来的趋势 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 3 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 3 金属化工艺 • 定义 • 应用 • 物理气相沉积vs.化学气相沉积 • 方法 • 真空 • 金属 • 工艺 • 未来的趋势
金属化工艺 ·处理在晶圆表面沉积金属薄膜. Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo x k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 4 金属化工艺 • 处理在晶圆表面沉积金属薄膜
应用 ·金属联机 。栅极和电极 。微-镜面(micro-mirror). ·融合(Fuse) Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 5 应用 • 金属联机 • 栅极和电极 • 微-镜面(micro-mirror) • 融合(Fuse)