蚀刻多晶硅 多晶硅 光刻 STI USG P型井区 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 6 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 6 蚀刻多晶硅 P型井区 STI USG PR光刻 胶 多晶硅
蚀刻多晶硅（续) 栅极氧化层 多晶硅 光刻 STI USG P型井☒ Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 7 k.htm
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光刻胶剥除 栅极氧化层 多晶硅 STI USG P型井区 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 8 k.htm
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离子掺杂 栅极氧化层 掺杂物离子，As+ 多晶硅 STI USG P型井☒ www2.austin.cc.tx.us/Hongxiao/B 源极汲极 Hong Xiao,Ph.D. 9 k.htm
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快速加热退火 栅极氧化层 多晶硅栅极 STI USG P型井☒ 源极汲极 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/B 10 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 10 快速加热退火 P型井区 STI USG 栅极氧化层 多晶硅栅极 源极/汲极 n + n +