第一章正交试验基本方法 >（2)简单比较法 >变化一个因素而固定其它因素，如首先固定B、C于B1、 C1,使A变化之，则： Al A2 A3(好结果) cmese.uestc >如果得出结果A3最好，则固定A于A3,C还是C1,使B变 化，则： BI A3C1≤ B2(好结果) B3 >得结果B2最好，则固定B于B2,A于A2,使C变化，则： CI A3B2< C2(好结果) C3 >试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 Schodl of Microelectronics and Solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢（2）简单比较法 ➢变化一个因素而固定其它因素，如首先固定B、C于B1、 C1，使A变化之，则： ➢如果得出结果A3最好，则固定A于A3，C还是C1，使B变 化，则： ➢得结果B2最好，则固定B于B2，A于A2，使C变化，则： ➢试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 A1 B1C1 A2 A3(好结果) B1 A3C1 B2(好结果) B3 C1 A3B2 C2 (好结果) C3
第一章正交试验基本方法 B3 cmese.uestc B2 C3 C2 A2 简单比较法的试验点 Schodl of Microelectronics and Solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 A1 A2 A3 B3 B2 B1 C1 C2 C3 简单比较法的试验点
第一章正交试验基本方法 简单比较法的优缺点 优点：试验次数少 缺点： (1)试验点不具代表性。考察的因素水平仅局 限于局部区域，不能全面地反映因素的全面情况。 (2)无法分清因素的主次。 (3)如果不进行重复试验，试验误差就估计不 出来，因此无法确定最佳分析条件的精度。 (4)无法利用数理统计方法对试验结果进行分 析，提出展望好条件。 Schodl of Microelectronics and Solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 简单比较法的优缺点 优点：试验次数少 缺点： （1）试验点不具代表性。考察的因素水平仅局 限于局部区域，不能全面地反映因素的全面情况。 （2）无法分清因素的主次。 （3）如果不进行重复试验，试验误差就估计不 出来，因此无法确定最佳分析条件的精度。 （4）无法利用数理统计方法对试验结果进行分 析，提出展望好条件
第一章正交试验基本方法 “单因素轮换法”不一定能找到好的条件 譬如：考察两个因子，先固定A在A1,发现B3 好，再固定B3,发现A好，但是实际上好的条 uestc 件是A2B2 B1 B2 B3 50 56 62 A2 56 70 60 A3 54 60 58 School of Microelectronics and Solid-State Electronics 14
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 14 第一章 正交试验基本方法 “单因素轮换法”不一定能找到好的条件 譬如：考察两个因子，先固定A在A1，发现B3 好，再固定B3，发现A1好，但是实际上好的条 件是A2B2。 B1 B2 B3 A1 50 56 62 A2 56 70 60 A3 54 60 58
第一章正交试验基本方法 >正交试验的提出： >考虑兼顾全面试验法和简单比较法的优点，利用 根据数学原理制作好的规格化表 正交表来设计 试验不失为一种上策。 cmese.uestc >用正交表来安排试验及分析试验结果，这种方法 叫做正交试验法。 >事实上，正交最优化方法的优点不仅表现在试验 的设计上，更表现在对试验结果的处理上。 Schodl of Microelectronics and Solid-State Electronics
School of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢正交试验的提出： ➢考虑兼顾全面试验法和简单比较法的优点，利用 根据数学原理制作好的规格化表——正交表来设计 试验不失为一种上策。 ➢用正交表来安排试验及分析试验结果，这种方法 叫做正交试验法。 ➢事实上，正交最优化方法的优点不仅表现在试验 的设计上，更表现在对试验结果的处理上