溶剂 ·溶解聚合体成液体 ·稀释光刻胶以便利用旋转的方式形成薄膜层 感光剂 ·控制并/或调整光刻胶在曝光过程的光化 学反应. ·决定曝光时间和强度 添加剂 ● 透过不同的化学添加以达到想要的工艺，例 如染料可以减少反射. 11 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 11 溶剂 • 溶解聚合体成液体 • 稀释光刻胶以便利用旋转的方式形成薄膜层 感光剂 • 控制 并/或 调整光刻胶在曝光过程的光化 学反应. • 决定曝光时间和强度 添加剂 • 透过不同的化学添加以达到想要的工艺，例 如染料可以减少反射
负光刻胶 ·大部分的负光刻胶是聚异戊二烯 (polyisoprene) ·光刻胶曝光后变成交连聚合体 ·交连聚合体有较高的化学蚀刻阻抗力. ·未曝光的部分在显影剂中将被溶解 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 12 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 12 负光刻胶 • 大部分的负光刻胶是聚异戊二烯 (polyisoprene) • 光刻胶曝光后变成交连聚合体 • 交连聚合体有较高的化学蚀刻阻抗力. • 未曝光的部分在显影剂中将被溶解
负光刻胶 光罩 负光刻胶 曝光 显影 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 13 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 13 负光刻胶 光罩 曝光 显影 负光刻胶
负光刻胶 缺点 ·聚合体吸收显影剂 ● 由于光刻胶的膨胀(swe||ing)使的分辨 率不好 ·由于主要溶剂是二甲苯(xy lene)引起环 保的争点. Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 14 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 14 负光刻胶 缺点 • 聚合体吸收显影剂 • 由于光刻胶的膨胀(swelling)使的分辨 率不好 • 由于主要溶剂是二甲苯(xylene)引起环 保的争点
光刻胶的比较 负光刻 正光刻胶 薄膜 薄膜 基片 基片 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 15 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 15 光刻胶的比较 负光刻 胶薄膜 正光刻胶 薄膜 基片 基片