离子化的说明 原子核 原子核 自由电子 。轨道电子 两个自 入射撞击 由电子 轨道电子 11
11 离子化的说明 自由电子 入射撞击 轨道电子 两个自 由电子 轨道电子 原子核 原子核
激发一松弛 e A →A*+e A*→ A+hn（光) ·不同的原子/分子有不同的频率，也就是为什 么不同的气体会发出不同的颜色. ·侦测等离子体的发光变化来决定蚀刻和化学 气相沉积反应室清洁步骤的终端点 (endpoint) 12
12 激发－松弛 e - + A → A* + eA* → A +hn (光) • 不同的原子/分子有不同的频率,也就是为什 么不同的气体会发出不同的颜色. • 侦测等离子体的发光变化来决定蚀刻和化学 气相沉积反应室清洁步骤的终端点 (endpoint)
激发碰撞 撞击电子 基态电子 激态电子 ● ● 入射撞 击电子 原子核 原子核 13
13 激发碰撞 入射撞 击电子 基态电子 激态电子 原子核 原子核 撞击电子
松弛 h:普朗克常数 y光的频率 激发态 LIMM 基态 14
14 松弛 基态 hn hn h:普朗克常数 n:光的频率 激发态
分解 ·电子和分子碰撞，可以打断化学键并产 生自由基： e+AB→ A+B+e ·自由基至少有一个未成对电子，化学上 是容易起反应的. ·增加化学反应速率 ·对蚀刻和化学气相沉积工艺非常重要 15
15 分解 • 电子和分子碰撞，可以打断化学键并产 生自由基: e - + AB→ A + B + e- • 自由基至少有一个未成对电子，化学上 是容易起反应的. • 增加化学反应速率 • 对蚀刻和化学气相沉积工艺非常重要