晶向平面：<111> <111>平面 <100>平面 y 11
11 晶向平面:<111> x y z <100>平面 <111>平面
晶向平面：<110> <110>平面 y 12
12 晶向平面:<110> x y z <110> 平面
<100>晶向平面的晶格结构 基本晶胞 原 13
13 <100>晶向平面的晶格结构 基本晶胞 原子
<111>晶向平面的晶格结构 基本晶胞 硅原子
14 <111>晶向平面的晶格结构 基本晶胞 硅原子
<100>晶圆上的蚀刻斑 ☒ ☒ ☒ ☒ 15
15 <100>晶圆上的蚀刻斑