<111>晶圆上的蚀刻斑 16
16 <111>晶圆上的蚀刻斑
硅晶体缺陷的说明 杂质原子在取代位置上 硅原子 杂质原子在间 隙位置上 硅间隙原 子 空位或肖特基缺陷 法兰克缺陷 17
17 杂质原子在取代位置上 硅原子 空位或肖特基缺陷 法兰克缺陷 杂质原子在间 隙位置上 硅间隙原 子 硅晶体缺陷的说明
晶圆标示 P型(111) P型(100) N型(111) N型(100) 18
18 P型 (111) P型 (100) N型 (111) N型 (100) 晶圆标示
差排缺陷 19
19 差排缺陷
从砂到晶圆 ·石英砂的主要成份是二氧化硅 ·从砂到冶金级硅(MGS) MGS粉末放进反应炉和氯化氢反应生三氯硅 烷(TCS) ·经由汽化和凝结过程纯化三氯硅烷 。 三氯硅烷和氢气反应生成电子级硅材料 EGS) ·EGS熔化和晶体提拉 20
20 从砂到晶圆 • 石英砂的主要成份是二氧化硅 • 从砂到冶金级硅 (MGS) • MGS粉末放进反应炉和氯化氢反应生三氯硅 烷(TCS) • 经由汽化和凝结过程纯化三氯硅烷 • 三氯硅烷和氢气反应生成电子级硅材料 (EGS) • EGS熔化和晶体提拉