Chapter 5 加热工艺
1 Chapter 5 加热工艺
硬件设备总览 2
2 硬件设备总览
水平式炉管 ·热制程中一般使用的工具 ·一般称为扩散炉 ·石英管内部有一陶瓷内衬称为马弗(mue) ·属于多重管路系统 3
3 水平式炉管 • 热制程中一般使用的工具 • 一般称为扩散炉 • 石英管内部有一陶瓷内衬称为马弗(muffle) • 属于多重管路系统
水平式炉管的布局图 排气孔 气体输 工艺炉管 装载系统 送系统 控制系统 4
4 气体输 送系统 工艺炉管 排气孔 装载系统 控制系统 水平式炉管的布局图
气体输送系统示意图 MFC 送至工 MFC 艺炉管 MFC 控制阀 调压器 气体钢瓶 5
5 送至工 艺炉管 MFC MFC MFC 控制阀 调压器 气体钢瓶 气体输送系统示意图