单晶态结构 6
6 单晶态结构
为何要用硅？ ·丰度高，便宜 ·二氧化硅非常稳定，强介电质，容易在热氧 化过程中成长一层二氧化硅 ·较大的能隙，操作温度的范围较大 7
7 为何要用硅? • 丰度高, 便宜 • 二氧化硅非常稳定,强介电质,容易在热氧 化过程中成长一层二氧化硅. • 较大的能隙,操作温度的范围较大
硅元素的性质 名称 硅 符号 Si 原子序 14 原子量 28.0855 发现者 钟斯、杰可柏、柏塞利尔斯 发现地点 瑞典 发现日期 1824 名称来源 由拉丁字silicis衍生而来，意指火石 单晶硅的键长度 2.352A 固体密度 2.33g/cm3 摩尔体积 12.06cm3 音速 2200m/sec 电阻系数 100,00042·cm 反射率 28% 熔点 1414℃ 沸点 2900℃ 8
8 名称 硅 符号 Si 原子序 14 原子量 28.0855 发现者 钟斯、杰可柏、柏塞利尔斯 发现地点 瑞典 发现日期 1824 名称来源 由拉丁字silicis衍生而来，意指火石 单晶硅的键长度 2.352 Å 固体密度 2.33g/cm3 摩尔体积 12.06cm3 音速 2200m/sec 电阻系数 100,000μΩ．cm 反射率 28% 熔点 1414 °C 沸点 2900 °C 硅元素的性质
单晶硅晶格结构的晶胞 Si Si Si Si Si 9
9 单晶硅晶格结构的晶胞
晶向平面：<100> <100>平面 y 10
10 晶向平面:<100> x y z <100> 平面