碳化硅管 ·优点 一较高的热稳定性 -较好的金属离子阻挡 ·缺点 -比较重 -比较贵 21
21 碳化硅管 • 优点 – 较高的热稳定性 – 较好的金属离子阻挡 • 缺点 – 比较重 – 比较贵
温度控制 反-弯曲法 ·向制程温度倾斜 -较低温时慢慢的装载晶圆（闲置温度，~800 c) 一在一个较短的稳定周期之后，使温度向制程 点倾斜 ·慢速装载 -1英吋/分钟 -200片六时晶圆温度约下降50C的热容量 22
22 温度控制 反-弯曲 法 • 向制程温度倾斜 – 较低温时慢慢的装载晶圆 (闲置温度, ~ 800 °C) – 在一个较短的稳定周期之后，使温度向制程 点倾斜 • 慢速装载 – 1英吋 / 分钟 – 200片六吋晶圆温度约下降50 °C的热容量
水平式高温炉 ·包含34个炉管（反应室） ·每一个炉管的温度控制系统分开 23
23 水平式高温炉 • 包含3~4个炉管 (反应室) • 每一个炉管的温度控制系统分开
水平高温炉 晶圆 加热线圈 石英 炉管 气流 温度 中心带区 平坦带区 距离 24
24 水平高温炉 中心带区 平坦带区 距离 温度 加热线圈 石英 炉管 气流 晶圆
高温炉 ·晶圆清洗站 ·晶圆装载站 -手动晶圆装载 一自动晶圆装载 ·氧化制程自动化 25
25 高温炉 • 晶圆清洗站 • 晶圆装载站 – 手动晶圆装载 – 自动晶圆装载 • 氧化制程自动化