反应室 ·高纯度石英 -高温稳定性 -活当基本的清洗 ·缺点 一易碎的 一一些金属离子 一不能作为钠的屏障 -高于1200℃可能产生冰晶雪花般多晶态结构， 从而表层产生剥离 16
16 反应室 • 高纯度石英 – 高温稳定性 – 适当基本的清洗 • 缺点 – 易碎的 – 一些金属离子 – 不能作为钠的屏障 – 高于1200 °C可能产生冰晶雪花般多晶态结构， 从而表层产生剥离
水平式高温炉 晶圆 加热线圈 石英 炉管 气流 温度 中心带区 平坦带区 距离 17
17 水平式高温炉 中心带区 平坦带区 距离 温度 加热线圈 石英 炉管 气流 晶圆
垂直式高温炉，制程位置 制程反应 室 加热器 晶圆 塔架 18
18 制程反应 室 晶圆 塔架 加热器 垂直式高温炉, 制程位置
石英炉管 ·电融合 ·火焰融合 ·两者可用来追踪金属量 ·火焰融合管产生的组件具有较佳的特性 19
19 石英炉管 • 电融合 • 火焰融合 • 两者可用来追踪金属量 • 火焰融合管产生的组件具有较佳的特性
石英管清洗 ·对沉积高温炉制程避免粒子污染物特别 重要 。 在生产工厂外面，反应室外 一氢氟酸(HF)储存槽 一每一次移除石英的薄层 -受限于石英管的生命期 ·反应室内部清洗 -在管的内部产生等离子体 在等离子体中从NF3分解离开污染物产生氟 元素自由基 20
20 石英管清洗 • 对沉积高温炉制程避免粒子污染物特别 重要 • 在生产工厂外面, 反应室外 – 氢氟酸 (HF)储存槽 – 每一次移除石英的薄层 – 受限于石英管的生命期 • 反应室内部清洗 – 在管的内部产生等离子体 – 在等离子体中从NF3 分解离开污染物产生氟 元素自由基