垂直石英炉 ·制程管以垂直方向置放 ·较小的占地面积 ·较好的污染物控制 ·较好的晶圆控制 ·较低的维护成本和较高的晶圆处理量 26
26 垂直石英炉 • 制程管以垂直方向置放 • 较小的占地面积 • 较好的污染物控制 • 较好的晶圆控制 • 较低的维护成本和较高的晶圆处理量
垂直高温炉，装载和卸除的位置 制程反应室 加热器 晶圆 塔架 27
27 制程反应室 晶圆 塔架 加热器 垂直高温炉,装载和卸除的位置
较小的占地空间 ·先进生产工厂的无尘室空间相当昂贵 ·小的占地面积降低建造成本【cost of ownership(COO)】 28
28 较小的占地空间 • 先进生产工厂的无尘室空间相当昂贵 • 小的占地面积降低建造成本 【cost of ownership (COO)】
较好的污染物控制 ·气体流动从上到下 ·对于层气流的控制有较好的均匀性 ·粒子大部分落在最上面的晶圆，而不会 掉到底下的晶圆 29
29 较好的污染物控制 • 气体流动从上到下 • 对于层气流的控制有较好的均匀性 • 粒子大部分落在最上面的晶圆，而不会 掉到底下的晶圆
较好的晶圆控制 ·当控制较大直径尺寸的晶圆数量时，作 用在水平炉管的承载架的力矩也很高 ·在垂直高温炉的晶圆塔架则是零力矩 30
30 较好的晶圆控制 • 当控制较大直径尺寸的晶圆数量时，作 用在水平炉管的承载架的力矩也很高 • 在垂直高温炉的晶圆塔架则是零力矩