排气系统 ·再释放前要先移除有害的气体 ·有毒的，易燃的，易爆炸的，具腐蚀性的气体 。 燃烧室移除大部分有毒的，易燃的，易爆炸的 气体 。 洗涤室用水移除燃烧后的氧化物和具腐蚀 性的气体 ·处理后的气体排放到大气 11
11 排气系统 • 再释放前要先移除有害的气体 • 有毒的,易燃的,易爆炸的,具腐蚀性的气体. • 燃烧室移除大部分有毒的,易燃的,易爆炸的 气体 • 洗涤室用水移除燃烧后的氧化物和具腐蚀 性的气体. • 处理后的气体排放到大气
装载晶圆，水平式系统 晶圆 制程气 体 到排气 端 制程炉管 晶舟 承载架 12
12 装载晶圆, 水平式系统 到排气 端 制程炉管 晶舟 承载架 制程气 体 晶圆
装载晶圆，垂直式系统 晶圆 塔架 13
13 装载晶圆, 垂直式系统 晶圆 塔架
温度控制 ·热制程对温度相当的敏感 ·必要的精密温度控制 ·0.5℃，中央区带 。±0.05%在1000C 14
14 • 热制程对温度相当的敏感 • 必要的精密温度控制 • 0.5 °C,中央区带 • 0.05%在1000 °C 温度控制
温度控制系统 ·热偶与反应管接触 ·成比例的能带控制器将功率馈人加热线卷 ·加热功率与设定点和测量点的差值成比例 15
15 温度控制系统 • 热偶与反应管接触 • 成比例的能带控制器将功率馈入加热线圈 • 加热功率与设定点和测量点的差值成比例