Question ·假如集成电路制造的每一道制程步骤的 晶粒成品率都是99%，而且共有600道制 程步骤，试问整体的晶粒成品率是多少？ 11
11 Question • 假如集成电路制造的每一道制程步骤的 晶粒成品率都是99%，而且共有600道制 程步骤，试问整体的晶粒成品率是多少?
解答 ·相当于99%自乘600次 。0.99600=0.0024=0.24% ·几乎没有成品率可言川 12
12 解答 • 相当于99%自乘600次 • 0.99600 = 0.0024 = 0.24% • 几乎没有成品率可言!!
晶圆产品的解说 晶粒 测试晶粒 13
13 晶圆产品的解说 测试晶粒 晶粒
晶圆产品的解说 切割道 测试结构 晶粒 14
14 晶圆产品的解说 切割道 晶粒 测试结构
污染控制及无尘室 目标 ·识别污染在半导体器件及其工艺生产中 的三大主要影响。 ·列出芯片工艺生产中的主要污染源。 ·定义洁净室的洁净等级。 ·列举等级分别为100,10和1的芯片生产 区域的微尘密度。 15
污染控制及无尘室 目标 • 识别污染在半导体器件及其工艺生产中 的三大主要影响。 • 列出芯片工艺生产中的主要污染源。 • 定义洁净室的洁净等级。 • 列举等级分别为100，10 和1的芯片生产 区域的微尘密度。 15