似型性沉积间隙填充 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 38 k.htm
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似型性沉积间隙填充 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 39 k.htm
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高密度等离子体CVD间隙填充 A 金属 金属 金属 金属 金属1 金属 Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 41 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 41 金属 金属 金属 金属 金属 金属 金属 金属l 金属 高密度等离子体CVD间隙填充
表面吸附 。决定源材料表面迁移率 ·影响阶梯覆盖性和间隙填充 ·物理吸附(ohysi sorption) ·化学吸附(chemi sorption) Hong Xiao,Ph.D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo 42 k.htm
Hong Xiao, Ph. D. www2.austin.cc.tx.us/HongXiao/Boo k.htm 42 表面吸附 • 决定源材料表面迁移率 • 影响阶梯覆盖性和间隙填充 • 物理吸附 (physisorption) • 化学吸附 (chemisorption)