荷电校正方法 內标法：利用样品材料中已知状态主成分元素的 结合能值作为参考值进行荷电校准。 )碳內标：含碳材料 石垦：284.5eV >Hydrocarbon(券香)：284.6eV >Hydrocarbon(脂肪)：285.0eV 》衬底参考 )涉及导电衬底上的薄膜研究工作，常以导电衬底元素的结合能作 为绝缘覆盖层材料的参考。 中国绅学我术大字 University of Science and Technology of China
荷电校正方法 內标法：利用样品材料中已知状态主成分元素的 结合能值作为参考值进行荷电校准。 碳內标：含碳材料 石墨：284.5 eV Hydrocarbon(芳香) ：284.6 eV Hydrocarbon(脂肪) ：285.0 eV 衬底参考 涉及导电衬底上的薄膜研究工作，常以导电衬底元素的结合能作 为绝缘覆盖层材料的参考
7.3、谱峰拟合 峰拟合可使彼此靠近重叠的峰得以分离。同时也 能够对具有不同化学位移的元素化学态进行准确 的分辨和定量。 ，高分辨PS谱的谱峰拟合过程依旧是个艺术、科学、 知识和经验的混合体。 谱峰拟合过程受到仪器设计、实验设置（分析条 件)、峰宽(FWHM)、峰形、化学位移和样品因素等 影响。 中国斜草投术大室 niverstty of Science and Technology of Chin
7.3、谱峰拟合 峰拟合可使彼此靠近重叠的峰得以分离。同时也 能够对具有不同化学位移的元素化学态进行准确 的分辨和定量。 高分辨XPS谱的谱峰拟合过程依旧是个艺术、科学、 知识和经验的混合体。 谱峰拟合过程受到仪器设计、实验设置 (分析条 件)、峰宽(FWHM)、峰形、化学位移和样品因素等 影响
7.3.1、谱峰拟合 ，可对多个相互重叠峰的谱峰拟合 谱峰拟合参数：峰位中心，宽度，高度，形 状L/G比等 不对称拖尾参数（混合，指数，高度） 交互式；添加/移动/修改/删除峰 固定、关联或约束峰参数 中国绅学我术大学 University of Science and Technology of China
7.3.1、谱峰拟合 可对多个相互重叠峰的谱峰拟合 谱峰拟合参数：峰位中心, 宽度, 高度, 形 状L/G比等 不对称拖尾参数 (混合, 指数, 高度) 交互式; 添加/移动/修改/删除 峰 固定、关联或约束峰参数
谱峰拟合 快速、通用和交互式的谱峰拟合工具是现代数据处理软件 的一项重要组成部分 可控制谱峰的数目、峰位置、峰宽度、罗仑兹/高斯(L/G) 比m。本底类型由用户来选择（线性、Shirley或Smart)。 可进行峰参数的关联和固定，并且不对称峰需要时也可以 拟合。 人（ 中国绅学我术大学 niversity of Science and Technology of China
谱峰拟合 快速、通用和交互式的谱峰拟合工具是现代数据处理软件 的一项重要组成部分 可控制谱峰的数目、峰位置、峰宽度、罗仑兹/高斯 (L/G) 比m。本底类型由用户来选择(线性、Shirley或 Smart)。 可进行峰参数的关联和固定，并且不对称峰需要时也可以 拟合