中国斜我术大草 University of Science and Technology of China 第4章、谱图的一般特征 XPS谱图的初级结构 XPS谱图的次级结构
第4章、谱图的一般特征 1. XPS谱图的初级结构 2. XPS谱图的次级结构
4.0、XPS谱图的形式 >XPS谱图的采集： 》XPS谱图是通过用X射线照射样品材料的同时测量从材料 表面出射的电子的能量和数目而得到的。 ,XPS谱图的形式： ,光电子信号强度I随能量的变化关系(1~E): 数据采集模式： ,全扫描谱(Survey scan)：扫描能量范围宽(0~1100eV), 灵敏度高（分辨力低），元素鉴别。 ,高分辨谱（①Detail scan)：扫描能量范围窄(20eV左右）， 分辨力高，主要用于元素化学态分析。 中国斜草投术大室 Iniverstty of Science and Technology of China
4.0、XPS谱图的形式 XPS谱图的采集： XPS谱图是通过用X射线照射样品材料的同时测量从材料 表面出射的电子的能量和数目而得到的。 XPS谱图的形式： 光电子信号强度I 随能量的变化关系(I ~ EB)； 数据采集模式： 全扫描谱(Survey scan)：扫描能量范围宽(01100eV)， 灵敏度高(分辨力低)，元素鉴别。 高分辨谱(Detail scan)：扫描能量范围窄(20eV左右)， 分辨力高，主要用于元素化学态分析
4.0、XPS谱图的形式 在XPS谱图中可观察到多种类型的谱峰。 》一部分是基本的并总可观察到一初级结构 另一些依赖于样品的物理和化学性质一次级结 构 光电发射过程常被设想为三步（三步模型) 光吸收和电离（初态效应）； 原子响应和光电子发射（终态效应）； ,电子向表面输运并逸出（外禀损失）。 所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献。 中国绅学我术大学 University of Science and Technology of China
4.0、XPS谱图的形式 在XPS谱图中可观察到多种类型的谱峰。 一部分是基本的并总可观察到—初级结构 另一些依赖于样品的物理和化学性质—次级结 构 光电发射过程常被设想为三步（三步模型） 光吸收和电离（初态效应）； 原子响应和光电子发射（终态效应）； 电子向表面输运并逸出（外禀损失）。 所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献
X-ray *aka ESCA Gun XPS X-ray Photo-electron Spectroscopy* Electron Spectrum Aluminum X-rays IN Cu XPS X-rays E目ectrons OUT 2p3 Survey Spectrum (Photons) Inside Vacuum of Pure Copper Energy=1486 eV (cu) Cu 2p1 Cu Cu Auger electrons Cu Cu 3s 3p 0.6mm Binding Energy of Electrons(eV) 0.4mm Wy华exclte atoms. Electrons Jump out. Usual Analysis Area and Depth E 10 8 002p00
Ag Survey Monochromated Al Ka 3dsn MVV 3dy2 1145 1120 Binding Energy (eV) 3pv2 MNV 4d 4s 4p 1400 1200 1000 800 600 400 200 0 Binding Energy(eV)
Ag Survey