6 中国斜草我术大草 University of Science and Technology of China 第3章电子能谱仪构造 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(UHV 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6 常用附件（中和枪与离子枪） 数据系统
第3章 电子能谱仪构造 1. 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(UHV) 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6. 常用附件（中和枪与离子枪） 7. 数据系统
3.1、电子能谱仪的一般构造 电子能谱仪一般由超高真 空系统、激发源(X射线光 源、UV光源、电子枪)、 电子能量分析器、检测器 和数据系统，以及其它附 件等构成。 ,现以Thermo Scientific公司 生产的ESCALAB250Xi高 性能电子能谱仪为例，说 明其主要仪器结构。 中国簿学毡术大享 Iniversity of Science and Technology of China
3.1、电子能谱仪的一般构造 电子能谱仪一般由超高真 空系统、激发源（X射线光 源、UV光源、电子枪）、 电子能量分析器、检测器 和数据系统，以及其它附 件等构成。 现以Thermo Scientific公司 生产的ESCALAB 250 Xi高 性能电子能谱仪为例，说 明其主要仪器结构
电子能谱仪结构框图(Instrumentation) Electron energy 电子能谱仪结构框图 analyser X-ray source Sample UHV 真空系统/磁屏蔽 chamber 样品 能量分析器 Pumps hv 激发源 检测器 数据系统 中国斜学技术大学 University of Science and Technology of China
电子能谱仪结构框图 电子能谱仪结构框图(Instrumentation)
电子能谱仪主机结构图 Analyser Microscope (behind) Light Source Entry Sample Chamber Manipulator Sample (HPT) Transfer Arm Thermo ESCALAB 250Xi 中园辩学技术大学 Iniversity of Science and Technology of China
电子能谱仪主机结构图
3.2、超高真空系统(UHV) 超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5×10-10mbar。现在所有商业电子能谱仪都工作在10-8~10-10 mbar的超高真空范围下。 超高真空系统一般由多级组合泵来获得。ESCALAB250电子能谱仪 的真空系统主要靠磁浮涡轮分子泵来获得，其前级由机械泵维持， 另外在分析室还可加装一离子泵和钛升华泵，这样在样品分析室中 真空度可优于1×1010mbar。钛升华泵都常作为辅助泵以便快速达 到所需要的真空度。 超高真空室和相关的抽气管道等通常用不锈钢材料来制成，相互连 接处使用具有刀口的法兰和铜垫圈来密封。样品分析室和能量分析 器更用Mu金属（高磁导率材料Ni77Fe16Cu5Cr2或Mo2)制造。 中国钟学我术大学 University of Science and Technology of China
3.2、超高真空系统(UHV) 超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5×10-10 mbar。现在所有商业电子能谱仪都工作在10-8 ~ 10-10 mbar的超高真空范围下。 超高真空系统一般由多级组合泵来获得。ESCALAB 250电子能谱仪 的真空系统主要靠磁浮涡轮分子泵来获得，其前级由机械泵维持， 另外在分析室还可加装一离子泵和钛升华泵，这样在样品分析室中 真空度可优于1×10-10 mbar。 钛升华泵都常作为辅助泵以便快速达 到所需要的真空度。 超高真空室和相关的抽气管道等通常用不锈钢材料来制成，相互连 接处使用具有刀口的法兰和铜垫圈来密封。样品分析室和能量分析 器更用Mu金属（高磁导率材料Ni77Fe16Cu5Cr2或Mo2）制造