Smart background Smart本底源自于Shirley.本底，但反复调整本底 位置使得本底不跑到数据曲线之上。这尤其适用 于有较宽能量范围的双线谱峰定量。 Ba3d Ba3d 5.00e+04T 5.00E+04T 4.00E+04 400E+04 3.00e+04 3.00e+04 2.00E+04 82.00E+04 1.00E+04 1.00E+04 0.00E+00+ 0.00E+00 810 800 790 780 810 800 790 780 Bindling Energy(ev) Binding Energy(eV) Shirley background Smart background 中国绅学发术大学 niverstty of Science and Technology of China
Smart background Shirley background Smart background Smart本底源自于Shirley本底，但反复调整本底 位置使得本底不跑到数据曲线之上。 这尤其适用 于有较宽能量范围的双线谱峰定量
7.2.3、微分谱Derivative Spectrum) ·微分谱提供了一种 Original spectrum Second derivative 在某些情况下简单 快速地确定峰位的 有用方法。 ·二次微分谱的负峰 位近似对应于原始 谱中重叠峰的位置。 ecomgo68068 (e)1:0.5.Convoluting interval 21.FWHM=60,separation=50 channels 中国绅学我术大字 University of Science and Technology of China
7.2.3、微分谱(Derivative Spectrum) 微分谱提供了一种 在某些情况下简单 快速地确定峰位的 有用方法。 二次微分谱的负峰 位近似对应于原始 谱中重叠峰的位置
7.2.4、荷电校正方法 在实际的XP$分析中，一般采用外标法或内标法进行 荷电位移校正。 外标法：在实验条件下，根据试样表面吸附或沉 积元素谱线的结合能，测出表面荷电电势，然后 确定其它元素的结合能。 》碳外标：用真空系统中最常见的外来污染碳氢化合物中 碳的C1s的结合能作为参考。常用284.6eV至285.0eV作 为参考结合能，近年来284.8eV较为流行。 。以测得的C1s谱线的结合能与参考值之差为荷电校正值△，来校正 谱图中其它谱峰的测量结合能值。 ●尽管外来污染碳作静电荷电校正存在局限性和不确定性，但它仍 是最方便和最常用的技术。 中国斜草我术大学 niverstty of Science and Technology of China
7.2.4、荷电校正方法 在实际的XPS分析中，一般采用外标法或内标法进行 荷电位移校正。 外标法：在实验条件下，根据试样表面吸附或沉 积元素谱线的结合能，测出表面荷电电势，然后 确定其它元素的结合能。 碳外标：用真空系统中最常见的外来污染碳氢化合物中 碳的C 1s的结合能作为参考。常用284.6 eV至285.0eV作 为参考结合能，近年来284.8 eV较为流行。 以测得的C1s谱线的结合能与参考值之差为荷电校正值，来校正 谱图中其它谱峰的测量结合能值。 尽管外来污染碳作静电荷电校正存在局限性和不确定性，但它仍 是最方便和最常用的技术
“污染碳”的C1s结合能比较 C(1s)BE of Hydrocarbons C(1s)BE of Hydrocarbons 元素 自然氧化物 离子刻蚀金属 BE差 元素 自然氧化物 离子刻蚀金属 BE差 Ag 285.5 284.7 0.8 Nb 285.1 284.9 0.2 Al 286.3 285.1 1.2 Ni 285.4 284.9 0.5 As 284.6 284.7 -0.1 Pb 285.6 285.2 0.4 [FO] B 284.6 285.2 -0.6 Pd 285.3 284.2 1.1 Be 285.6 284.4 1.2 Re 284.5 285.0 -0.5 Bi 285.4 284.8 0.6 Rh 284.6 284.0* 0.6 Cd 286.0 285.0 Sb 285.0 284.4 0.6 [FO] Co 285.5 284.4 1.1 Sc 285.9 286.8* -0.9 Cr 285.1 284.9 0.2 Se 284.3* 284.2 0.1 Cu 284.7 284.7 ±0.0 Si 285.7 284.9 0.8 Fe 285.2 284.4 0.8 Sn 285.2 284.8 0.4 Ga 286.1 285.6 0.5 Ta 284.8 284.6 0.2 Ge 285.7 284.5 1.2 Te 284.8 284.2 0.6 Hf 286.2 286.1 0.1 T 285.4 285.2 0.2 [FO] In 285.4 284.9 0.5 V 285.1 285.2 -0.1 [FO] Ir 285.4 285.4 ±0.0 W 285.0 285.1 -0.1 Mg 286.5 284.4 2.1 [FO] Y 286.7 286.7 ±0.0[Fo] Mn 284.8 286.3 -1.5 Zn 285.8 284.9 0.9 Mo 284.8 285.2 -0.4 Zr 285.9 285.4 0.5 中国绅学我术大学 Jniversity of Science and Technology of China
“污染碳” 的 C 1s结合能比较 C (1s) BE of Hydrocarbons C (1s) BE of Hydrocarbons 元素 自然氧化物 离子刻蚀金属 BE差 元素 自然氧化物 离子刻蚀金属 BE差 Ag 285.5 284.7 0.8 Nb 285.1 284.9 0.2 Al 286.3 285.1 1.2 Ni 285.4 284.9 0.5 As 284.6 284.7 -0.1 Pb 285.6 285.2 0.4 [FO] B 284.6 285.2 -0.6 Pd 285.3 284.2 1.1 Be 285.6 284.4 1.2 Re 284.5 285.0 -0.5 Bi 285.4 284.8 0.6 Rh 284.6 284.0* 0.6 Cd 286.0 285.0 1 Sb 285.0 284.4 0.6 [FO] Co 285.5 284.4 1.1 Sc 285.9 286.8* -0.9 Cr 285.1 284.9 0.2 Se 284.3* 284.2 0.1 Cu 284.7 284.7 ±0.0 Si 285.7 284.9 0.8 Fe 285.2 284.4 0.8 Sn 285.2 284.8 0.4 Ga 286.1 285.6 0.5 Ta 284.8 284.6 0.2 Ge 285.7 284.5 1.2 Te 284.8 284.2 0.6 Hf 286.2 286.1 0.1 Tl 285.4 285.2 0.2 [FO] In 285.4 284.9 0.5 V 285.1 285.2 -0.1 [FO] Ir 285.4 285.4 ±0.0 W 285.0 285.1 -0.1 Mg 286.5 284.4 2.1 [FO] Y 286.7 286.7 ±0.0 [FO] Mn 284.8 286.3 -1.5 Zn 285.8 284.9 0.9 Mo 284.8 285.2 -0.4 Zr 285.9 285.4 0.5
》惰性气体外标：向样品注入A作外标物有 良好的效果。 >Ar具有极好的化学稳定性，适合于Ar离子溅射 后和深度剖面分析，且操作简便易行。 中国绅学发术大草 niverstty of Science and Technology of China
惰性气体外标：向样品注入Ar作外标物有 良好的效果。 Ar具有极好的化学稳定性，适合于Ar离子溅射 后和深度剖面分析，且操作简便易行