§6.5、其他成像探测器 §6.5.1视像管 §65.2硅靶摄像管 §65.3光电发射式摄像管 §6.5.4微光像增强器 §6.55微光摄像CCD器件 2022/10/7
2022/10/7 1 §6.5、其他成像探测器 §6.5.1 视像管 §6.5.3 光电发射式摄像管 §6.5.4 微光像增强器 §6.5.5 微光摄像CCD器件 §6.5.2 硅靶摄像管
6.5.1光电导摄象管（视象管） 靶阿 歌焦线图 馆转绕图 校正绕图 信号极 光府 既东电松 灯丝 阴极 加速电极控制州极 2022/10/7
2022/10/7 2 6.5.1 光电导摄象管（视象管）
光电靶 摄象管的基本结构 电子枪 光窗 靶面的光敏层可进行光电转换， 它的轴向电阻小，横向电阻大，有利 光电靶 信号极于保持光电转换形成的电量潜象，并 在扫描周期内实现积分存储。 靶 电子枪 灯丝、热阴极、控制栅极、各加速电极和聚焦电极 靶网电极和管外的聚焦线圈、偏转线圈、校正线圈等，它 的作用是产生热电子，并使它聚焦成很细的电子射线，按 着定的轨迹扫描靶面。 3
2022/10/7 3 摄象管的基本结构 光电靶 电子枪 靶面的光敏层可进行光电转换， 它的轴向电阻小，横向电阻大，有利 于保持光电转换形成的电量潜象，并 在扫描周期内实现积分存储。 光电靶 光窗 信号极 靶 灯丝、热阴极、控制栅极、各加速电极和聚焦电极、 靶网电极和管外的聚焦线圈、偏转线圈、校正线圈等，它 的作用是产生热电子，并使它聚焦成很细的电子射线，按 着一定的轨迹扫描靶面。 电子枪
6.5.2 硅靶摄象管 玻增面板信号板N N-Si P-Si 电用流 b) 2022/10/7 硅靶结构图与硅靶摄象管简图
2022/10/7 4 6.5.2 硅靶摄象管 硅靶结构图与硅靶摄象管简图
硅靶 信号板：硅靶摄象管窗口玻璃内表面涂有层很薄的既可透 光也可导电的金属膜，在它上面接有引线可同负载相连。 N型硅片 硅片朝着电子枪一边的表面，先生成一层氧化层($O2), 接着利用光刻技术在$O2上光刻成几十万个小孔，再通过 掺杂使每个小孔都变成P-Si。 许多个小的P-S被SO,隔离，称为P型岛 每个P型岛与N型衬底之间即形成一个PN结（光电三 极管)。最后再在$O,和P型岛表面上蒸涂上一层电阻率适 当的彩料，即成为硅靶
2022/10/7 5 每个P型岛与N型衬底之间即形成一个PN结(光电二 极管)。最后再在SiO2和P型岛表面上蒸涂上一层电阻率适 当的材料，即成为硅靶。 信号板:硅靶摄象管窗口玻璃内表面涂有一层很薄的既可透 光也可导电的金属膜，在它上面接有引线可同负载相连。 N型硅片 硅片朝着电子枪一边的表面，先生成一层氧化层(SiO2 )， 接着利用光刻技术在SiO2上光刻成几十万个小孔，再通过 掺杂使每个小孔都变成P-Si。 许多个小的P-Si被SiO2隔离，称为P型岛 硅靶