像散消除 寻找Focus的中心点 调节像散 电子束 电子束 X 高 Lens ☒ ☒ 像散补正 线圈 Focus面 8→ 领e”””。e0eee0.8e里080 31
31 像散消除
不同设置条件对图片质量的影响是相互关联的，在不同操作条件下 寻找最合适的参数组合才能获得高质量的图片。 加速电压 •加速电压高，束斑尺寸小，电子束穿透深度深 ·加速电压低，穿透深度浅，更表现表面形貌 探针电流 加速 电压 •探针电流小，分辨率高 •探针电流大，信号强，衬度好 工作距离 扫描 探针 速度 电子束 电 ·工作距离近，分辨率高 工作距离远，景深大 相关 物镜光阑 •光阑孔径小，分辨率高，景深大 物镜 工作 光阑孔径大，束流大，信号强 光阑 距离 扫描速度 •速度慢，图像清晰，噪声小 •不导电样品充电严重 32
不同设置条件对图片质量的影响是相互关联的，在不同操作条件下 寻找最合适的参数组合才能获得高质量的图片。 32 加速电压 •加速电压高，束斑尺寸小，电子束穿透深度深 •加速电压低，穿透深度浅，更表现表面形貌 探针电流 •探针电流小，分辨率高 •探针电流大，信号强，衬度好 工作距离 •工作距离近，分辨率高 •工作距离远，景深大 物镜光阑 •光阑孔径小，分辨率高，景深大 •光阑孔径大，束流大，信号强 扫描速度 •速度慢，图像清晰，噪声小 •不导电样品充电严重 电子束 相关 加速 电压 探针 电流 工作 距离 物镜 光阑 扫描 速度
电子光学基础 。电子波与电磁透镜 。电磁透镜的像差与分辨率 电磁透镜的景深和焦长 Water-cooled surface Electron ray paths Water Power Soft Fe pole pieees Cu coils 33
电子波与电磁透镜 电磁透镜的像差与分辨率 电磁透镜的景深和焦长 电子光学基础 33
电子波 h 三 mv h 1.5 电子波长 >= nm mv2 √2meV V ev 2 引入相对论校正 h mo λ= m= - 2mev(1+zc2） ev mo:电子静止质量 34
34 电子波 电子波长 引入相对论校正 0 2 1 ( ) m m v c m0 : 电子静止质量
电磁透镜 短线圈 磁感线 (a (d B (b) B F (e) 电磁透镜聚焦原理 35
35 电磁透镜 电磁透镜聚焦原理