加速电压 低加速电压 优点： ① 入射电子的扩散区域很小，空间分辨率高，可以获得样品最表面 的对比度信息； ② 低加速电压有利于减轻样品的荷电； ③ 低加速电压对样品的损伤小。 1μm 10kV B8 coeffcient-19.505 150 0 电子在样品内扩散程度的模拟（样品：硅） 26
26 加速电压 • 低加速电压 1μm １０ｋＶ １ｋ Ｖ 优点： ① 入射电子的扩散区域很小，空间分辨率高，可以获得样品最表面 的对比度信息； ② 低加速电压有利于减轻样品的荷电； ③ 低加速电压对样品的损伤小。 电子在样品内扩散程度的模拟（样品：硅）
物镜光阑 聚光镜焦点 Objective lens Aperture:small Aperture:large 光栏孔径大 光栏孔径小 Aperture angle:small Aperture angle:large Blur 物镜 Blur Depth of focus:large Depth of focus:small 02> 样品 D-4+Ca-C(+la/a 调节物镜光阑孔可以： 减小光阑尺寸，虽然增大了衍射尺 √控制电子束孔径角 寸，但减小了远轴电子，减小了球 √设定照射电流量 差和色差，使得束斑直径减小。 27
27 物镜光阑 调节物镜光阑孔可以： 控制电子束孔径角 设定照射电流量 减小光阑尺寸，虽然增大了衍射尺 寸，但减小了远轴电子，减小了球 差和色差，使得束斑直径减小
物镜光阑 孔径变小 孔径变大 束斑直径 小 大 束斑孔径角 小 大 分辨率横向 高 低 分辨率-纵向，景深 大 小 照射电流 小 大 图像信噪比 差 好 28
28 物镜光阑 孔径变小 孔径变大 束斑直径 小 大 束斑孔径角 小 大 分辨率-横向 高 低 分辨率-纵向，景深 大 小 照射电流 小 大 图像信噪比 差 好
工作距离(WD) E a 物镜光氟 Wm≠8./3mm 样品 S48001,0kv8.3mmx30.0ksE(U) WD. 样品 DoB&cace+l2a/ej旷 WD=2.3mm √WD越大，越小，景深好 S48001.0kV2.3mmx30.0ksEU) 1.ooum √WD越小，α越大，景深差，分辨率高 29
29 工作距离（WD） WD越大，α越小，景深好 WD越小，α越大，景深差，分辨率高 WD=8.3mm WD=2.3mm
扫描速度 模糊 TV模式下可以成BSE像 (刷新率0.033秒/桢，世界最快图 像刷新率) 加速电压：15KV 加速电压：15KV 普通BSE探测器 高灵敏度BSE探测器 ·扫描速度快，电子束与样品作用时间就短，信号弱，信噪比差 扫描速率慢，电子束在样品上停留时间就长，对样品损伤也越大 ，对于一些不导电样品的荷电也越严重，样品漂移带来的影响也 越大。 ,还与探测器灵敏度相关，选择合适扫描速率至关重要。 30
30 扫描速度 • 扫描速度快，电子束与样品作用时间就短，信号弱，信噪比差 • 扫描速率慢，电子束在样品上停留时间就长，对样品损伤也越大 ，对于一些不导电样品的荷电也越严重，样品漂移带来的影响也 越大。 • 还与探测器灵敏度相关，选择合适扫描速率至关重要。 TV模式下可以成BSE像 （刷新率0.033秒/桢，世界最快图 像刷新率） 模糊 加速电压：15KV 普通BSE探测器 高灵敏度BSE探测器 加速电压：15KV