扫描电镜-SEM W3XOD 。 扫描电镜工作原理和构造 。扫描电镜像衬原理及应用 影响SEM图像质量的因素 世 1
扫描电镜工作原理和构造 扫描电镜像衬原理及应用 影响SEM图像质量的因素 扫描电镜-SEM 1
电子束与固态样品相互作用 SEM Incident high-kV beam Secondary electrons (SE) Backscattered electrons (BSE) Characteristic X-rays EDS/WDS Auger Visible electrons Light Absorbed' Electron-hole electrons pairs Bremsstrahlung Specimen X-rays Elastically Inelastically scattered Direct scattered electrons Beam electrons 2 TEM
2 EDS/WDS SEM 电子束与固态样品相互作用 TEM
扫描电镜工作原理和构造 Acceleration voltage Cathode Wehnelt cylinder Anode 卤 Screen:Brightness Condensor lens 1 FASTX is proportional to Condensor lens 2 START SE or BSE signal 区 SLOW Scan generator Deflection coils END (X and Y (scan) deflection) Objective lens Amplifiers ←BSE detector SE detector Secondary Back-scattered electrons(SE electrons Probe (BSE) 3
扫描电镜工作原理和构造 3
电子源 热电子发射 场发射 参数 钨灯丝 LaB6灯丝 肖特基 冷场 阴极材质 W LaBs Zr0/W(100) W(310) 工作温度[K] 2,800 1,900 1,800 常温 电子源直径 50 5 0.015 0.0025 亮度[A/cm2.sr] 104 105 108 109 能量分散[eV] ~2.3 ≈1.5 0.7 0.3 工作真空度[Pa] <10-3 <10-5 <1x10-7 <1x10-8 闪烁 无需 无需 无需 1次/天 累计寿命 100~200h 1年 1~2年 3~5年 钨灯丝 LaB灯丝 场发射灯丝
参数 热电子发射 场发射 钨灯丝 LaB6灯丝 肖特基 冷场 阴极材质 W LaB6 ZrO/W (100) W(310) 工作温度 [K] 2,800 1,900 1,800 常温 电子源直径 [um] 50 5 0.015 0.0025 亮度 [A/cm2.sr] 104 105 108 109 能量分散 [eV] ～2.3 ～1.5 ～0.7 ～0.3 工作真空度 [Pa] < 10-3 < 10-5 < 1x10-7 < 1x10-8 闪烁 无需 无需 无需 1次/天 累计寿命 100～200h 1年 1～2年 3～5年 钨灯丝 LaB6灯丝 场发射灯丝 电子源
扫描电镜工作原理与构造 ·扫描电镜通过电子束激发样品生成信号成像 镜筒 SEM倍率改变的方法 探测器 M=A/A、=常数/A 电子束 Ac:阴极射线管的荧光屏宽度尺寸 样品 As:入射电子在样品上扫描范围 5
5 扫描电镜工作原理与构造 • 扫描电镜通过电子束激发样品生成信号成像 镜筒 探测器 电子束 样品 M Ac As As / 常数/ SEM倍率改变的方法 Ac：阴极射线管的荧光屏宽度尺寸 As：入射电子在样品上扫描范围