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八、X射线应力测定
八、X射线应力测定
残余应力的危害与应用 2A2 3 2 Channel crack Low-k dielectrio Copper (OSG) interconnect line KFAB1.0kV4.4mm×15.0kSEU5/19/2000 3.00um 3
3 残余应力的危害与应用
八、X射线应力分析 ·应力-应变的基本特征 ·宏观应力 ·微观应变/应力
八、X射线应力分析 • 应力-应变的基本特征 • 宏观应力 • 微观应变/应力 4
应力-应变间关联 ·应力o(stress)→应变&(strain)→晶面间 Ad (change of lattice spacing) △d △d △λ△0cos0 d d λ sinθ ·线弹性假设下，Hook'slaW:o=eEor=G 。 通过测定物体中的应变从而确定其应力大 小。 5
应力-应变间关联 • 应力 (stress) 应变 (strain) 晶面间 距d (change of lattice spacing) • 线弹性假设下，Hook’s law: =E or =G • 通过测定物体中的应变从而确定其应力大 小。 sin cos d d d d ~ 5