随堂测验(10分钟) (1)如果你是个SEM销售代表，要向客户展示某型号SEM 的能力；你如何做才能向客户展示一张体现该$EM极 限分辨率的清晰图片？（尽可能的想，比如：试样如 何选？SEM参数如何调？) (2)如果试样足够薄，估算100 kV TEMI的极限分辨率。 (C。=lmm,物镜孔径角a在10mrad左右) TABLE 1.2 Electron Properties as a Function of Accelerating Voltage Accelerating Non-relativistic Relativistic Mass Velocity voltage(kV) wavelength(nm) wavelength(nm) (x mo) (×108m/s) 100 0.00386 0.00370 1.196 1.644 120 0.00352 0.00335 1.235 1.759 200 0.00273 0.00251 1.391 2.086 300 0.00223 0.00197 1.587 2.330 400 0.00193 0.00164 1.783 2.484 1000 0.00122 0.00087 2.957 2.823
(1)如果你是个SEM销售代表，要向客户展示某型号SEM 的能力；你如何做才能向客户展示一张体现该SEM极 限分辨率的清晰图片？（尽可能的想，比如：试样如 何选？SEM参数如何调？） (2)如果试样足够薄，估算100kV TEM的极限分辨率。 （Cs=1mm，物镜孔径角α在10mrad左右） 随堂测验 (10分钟）
电子束与固体作用时产生的信号 ·分辨率 Primary electrons Auger electrons Sample (0.4-5nm) surface 2-50nm SEs ◆BSEs Characteristic X-rays Continuum X- rays Secondary fluorescence by Interaction BSE spatial continuum and resolution characteristic volume(pear- (50-300nm) X-rays shaped zone X-ray resolution 信号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 2-50nm 50-200nm 10-1000nm 10-1000nm 0.4-5nm 2
2 电子束与固体作用时产生的信号 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 2-50nm 50-200nm 10-1000nm 10-1000nm 0.4-5nm • 分辨率
电子束与固体作用时产生的信号 样品原子序数对作用范围的影响 The size of the interaction volume decreases as the average atomic number of the material increases Note also the shape change BSE BSE BSE (Z>Z) Fe(亿=26 Ag(2=47) Monte Carlo simulations for a 20 keV incident beam c26) 3
3 电子束与固体作用时产生的信号 • 样品原子序数对作用范围的影响
电子束与固体作用时产生的信号 电子束能量对作用范围的影响 7.5kW 15W 20 kV 30W Fe中的作用范围 4
4 电子束与固体作用时产生的信号 Fe中的作用范围 • 电子束能量对作用范围的影响
·组合参数配合是关键 操作 加速 电 。分辨率 扫描 探针 衬度 速度 电流 电子束 信噪比 相关 。结构真实 物镜 工作 光阑 距离 理想电子束条件：电子束直径小、加速电压小、电流大、 发散角小（交互影响，难以同时满足)5
5 操作 • 组合参数配合是关键 分辨率 衬度 信噪比 结构真实 电子束 相关 加速 电压 探针 电流 工作 距离 物镜 光阑 扫描 速度 理想电子束条件：电子束直径小、加速电压小、电流大、 发散角小（交互影响，难以同时满足）