SEM中的衬度 ·SEM中的原子序数衬度 背散射电子 0.5 0. Sa 0.3 Fe 0.2 二次电子 0.1 200080100 例如：Z=20附近，原子序数每变化1 ,背散射系数变化约为5%；如果样品 中两相的原子序数相差3，那么这两 An aluminum-copper alloy 相足以在背散射电子像中区别出来 16
16 • SEM中的原子序数衬度 SEM中的衬度 例如：Z=20附近，原子序数每变化1 ，背散射系数变化约为5%；如果样品 中两相的原子序数相差3，那么这两 相足以在背散射电子像中区别出来 An aluminum-copper alloy
SEM中的衬度 ·SEM中的原子序数衬度 BSD e1 181wm SED BSE相比SE,表面形貌分辨率低 17
17 • SEM中的原子序数衬度 SEM中的衬度 BSE相比SE，表面形貌分辨率低
SEM中的衬度 SEM中的形貌衬度与原子序数衬度比较 二次电子SE背散射电子BSE 能量 低 高 空间分辨率横向 高 低 形貌衬度-纵向轮廓 强 弱 成分衬度 弱 强 立体感 强 弱 阴影效应 弱 强 18
18 • SEM中的形貌衬度与原子序数衬度比较 SEM中的衬度 二次电子SE 背散射电子BSE 能量 低 高 空间分辨率-横向 高 低 形貌衬度-纵向轮廓 强 弱 成分衬度 弱 强 立体感 强 弱 阴影效应 弱 强
高质量的SEM图像是什么样的？ 分辨率足够，显微结构细节清晰可辨 横向分辨率，纵向分辨率（景深）：由需求而取舍 。衬度适中，黑、白区细节都能清楚 信噪比好，无明显雪花状噪声 结构真实，所展示的是真实的样品形貌和结构 19
分辨率足够，显微结构细节清晰可辨 横向分辨率，纵向分辨率（景深）：由需求而取舍 衬度适中，黑、白区细节都能清楚 信噪比好，无明显雪花状噪声 结构真实，所展示的是真实的样品形貌和结构 高质量的SEM图像是什么样的？ 19
影响SEM图像质量的因素有哪些？ 高质量样品是基础 样品 灯丝 对中线圈 UEHT 聚光镜 扫描电镜能力是保障 电镜 扫描与消 转资靠 像散线圈 物镜 组合参数配合是关键 样品 操作 20
影响SEM图像质量的因素有哪些？ 20 样品 • 高质量样品是基础 电镜 • 扫描电镜能力是保障 操作 • 组合参数配合是关键