电子束与固体作用时产生的信号 电子束能量对作用范围的影响 7.5kW 15W 20 kV 30W Fe中的作用范围 11
11 电子束与固体作用时产生的信号 Fe中的作用范围 • 电子束能量对作用范围的影响
电子束与固体作用时产生的信号 样品原子序数对作用范围的影响 The size of the interaction volume decreases as the average atomic number of the material increases Note also the shape change BSE BSE BSE (Z>Z) Fe(亿=26) Ag(Z=47) Monte Carlo simulations for a 20 keV incident beam c26) 12
12 电子束与固体作用时产生的信号 • 样品原子序数对作用范围的影响
SEM中的衬度 SEM中的表面形貌衬度 表面形貌衬度是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为 调制信号得到的一种像衬度。 二次电子和背散射电子对样品微区刻面相对于入射电子束的位 向十分敏感，因此它们都能用于显示样品表面形貌特征。 人射电子束 背散射电子 5-10nm 俄歇电子 0.5 0.5-2nm 二次电子 二次电子尤其适用 背散射电子 03队 Za 特征X射线 Fe 显示样品表面形貌 连续X射线 二次电子 特征 背射电了 空间分辨率 X射线空间分辨率 406080100 7 13
13 • SEM中的表面形貌衬度 表面形貌衬度是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为 调制信号得到的一种像衬度。 二次电子和背散射电子对样品微区刻面相对于入射电子束的位 向十分敏感，因此它们都能用于显示样品表面形貌特征。 SEM中的衬度 二次电子尤其适用 显示样品表面形貌 特征
SEM中的衬度 ·SEM中的表面形貌衬度 8 e-beam ).8 Specimen 0.6 0.4 Number of electrons 0 2 Contrast 20° 40°60° δ-ψ关系曲线 Relationship of topography,electron number and contrast 14
14 • SEM中的表面形貌衬度 SEM中的衬度 δ-ψ关系曲线
SEM中的衬度 ·SEM中的表面形貌衬度 二次电子尤其适用 Final lens pole piece 显示样品表面形貌 Backscattered electrons 特征 Secondary electrons Faraday Cage (+200V) Aluminum coating on scinillator (+12kW) Specimen Photomultiplier Secondary electron Light Photocathode collector guide 15
15 • SEM中的表面形貌衬度 SEM中的衬度 二次电子尤其适用 显示样品表面形貌 特征