元素鉴别 (ldentification) Survey of In foil with B crystal 80000 13d 70000 60000 50000 40000 B1 30000 Si 2s Si 2p 20000 10000 0 1100 1000 900 800 700600 500 400300 200 100 0 Binding Energy(eV) Name Start BE Centre BE End BE Height/Counts FWHM/eV In MN1 1099.00 108400 1066.00 855029 954 0K1 989.00 974.00 961.00 1752.79 In 3s 841 00 828.00 3.00 1854.09 Peak Table In 3p 676.00 666.00 653.00 14182.74 01s 545.00 531.00 521.00 7507.12 In 3d 460.00 44500 436.00 61075.64 27 295.00 28400 27100 18711.03 251.00 242.00 232.00 2805.27 195, 188.00 183.00 1098.42 2.76 12s 0 152 0 11810.88 100.00 95.00 14292.43 58 中国绅学我术大李 Universuy of Seience and Technology of China
元素鉴别（Identification） Survey of In foil with B crystal 0 10000 20000 30000 40000 50000 60000 70000 80000 1100 1000 900 800 700 600 500 400 300 200 100 0 Counts / s Binding Energy (eV) In MNN O KLL In 3s In 3p3 O 1s In 3d C 1s Ar 2p B 1s Si 2s Si 2p Name Start BE Centre BE End BE Height / Counts FWHM / eV In MN1 1099.00 1084.00 1066.00 8550.29 9.54 O KL1 989.00 974.00 961.00 1752.79 7.60 In 3s 841.00 828.00 813.00 1854.09 5.08 In 3p 676.00 666.00 653.00 14182.74 4.42 O 1s 545.00 531.00 521.00 7507.12 3.37 In 3d 460.00 445.00 436.00 61075.64 2.57 C 1s 295.00 284.00 271.00 18711.03 3.66 Ar 2p 251.00 242.00 232.00 2805.27 3.52 B 1s 195.00 188.00 183.00 1098.42 2.76 Si 2s 158.00 152.00 146.00 11810.88 2.99 Si 2p 106.00 100.00 95.00 14292.43 2.58 Peak Table
5.2、化学态分析 ，元素化学态分析是XPS的最主要的应用之一 4 元素化学态分析的情况比较复杂，涉及到的信息 比较多，有时尚需要对谱图做拟合处理 ，XPS常被用来作氧化态的测定和价态分析以及研 究成键形式和分子结构。化学位移信息对于官能 团、分子化学环境和氧化态分析是非常有力的工 具。 ，XPS光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等 效位置的原子。 中国绅草我术大学 niversity of Science and Technology of China
5.2、化学态分析 元素化学态分析是XPS的最主要的应用之一 元素化学态分析的情况比较复杂，涉及到的信息 比较多，有时尚需要对谱图做拟合处理 XPS常被用来作氧化态的测定和价态分析以及研 究成键形式和分子结构。化学位移信息对于官能 团、分子化学环境和氧化态分析是非常有力的工 具。 XPS光电子谱线的位移还可用来区别分子中非等 效位置的原子
化学态分析 ，依据： 1.化学位移 2.俄歇参数、化学状态图 3.震激峰、多重分裂等伴峰结构 4.价带谱结构 工具： ,谱图手册：XPS Handbook ,知识库：Avantage knowledge base ,Web数据库：http:/srdata.nist.gov/xps/ 简中国斜蓉投术大等
化学态分析 依据： 1. 化学位移 2. 俄歇参数、化学状态图 3. 震激峰、多重分裂等伴峰结构 4. 价带谱结构 工具： 谱图手册：XPS Handbook 知识库：Avantage knowledge base Web数据库：http://srdata.nist.gov/xps/
5.2.1、化学位移分析 ，化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少→ 结合能E增加) ■配位体的数目 ■配位体的电负性 ■形式氧化态 ，除少数元素化学位移较小外，大部分元素的单质 态、氧化态与还原态之间都有明显的化学位移。 如C1s:TiC(281.7eV),石墨(284.5eV),碳酸盐 (~290eV)。 ，化学态的分析主要依赖谱线能量的精确测定。对 绝缘样品应进行精确的静电荷电校正。 中国绅学我术大室 iniversity of Science and Technology of China
5.2.1、化学位移分析 化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少→ 结合能EB增加） 配位体的数目 配位体的电负性 形式氧化态 除少数元素化学位移较小外，大部分元素的单质 态、氧化态与还原态之间都有明显的化学位移。 如C1s：TiC(281.7eV)，石墨(284.5eV)，碳酸盐 (～290eV) 。 化学态的分析主要依赖谱线能量的精确测定。对 绝缘样品应进行精确的静电荷电校正
5.2.1、化学位移分析 Ti及Ti02中2p32峰的峰位及2p12和2p32之间的距离 460 SINDING ENERGY.ev BINDING ENERGY.eV ·化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距 离发生变化，这也是判定化学状态的重要依据之一。 中国绅学我术大李
5.2.1、化学位移分析 Ti及TiO2中2p3/2峰的峰位及2p1/2和2p3/2之间的距离 化学环境的变化将使一些元素的光电子谱双峰间的距 离发生变化，这也是判定化学状态的重要依据之一