5.1.1、数据采集-全扫描谱(Survey scan) ，对于一个化学成分未知的样品，首先应作全扫描 谱，以初步判定表面的化学成分。在作PS分析时， 全扫描谱能量范围一般取0~1200eV,因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内。 通过样品的全扫描谱，在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。 由于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类。 中国绅学我术大室 iniversity of Science and Technology of China
5.1.1、数据采集-全扫描谱(Survey scan) 对于一个化学成分未知的样品，首先应作全扫描 谱，以初步判定表面的化学成分。在作XPS分析时， 全扫描谱能量范围一般取0∼1200eV，因为几乎所 有元素的最强峰都在这一范围之内。 通过样品的全扫描谱，在一次测量中我们就可检 出全部或大部分元素。 由于各种元素都有其特征的电子结合能，因此在 能谱中有它们各自对应的特征谱线。所以可根据 这些谱线在能谱图中的位置即可鉴定元素种类
般解析步骤 1. 因C,O是经常出现的，所以首先识别C,O的光电子谱线， Auger线及属于C,O的其他类型的谱线； 2. 其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线， 利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强 峰对应的元素，并标出其相关峰，注意有些元素的个别 峰可能相互干扰或重叠； 3. 最后鉴别剩余的弱谱线，假设它们是含量低的未知元素 的主峰（最强谱线）； 4. 对于p,d,f谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线 结构，其双峰间距及峰高比一般为一定值（有助于识别 元素)。p峰的强度比为1：2；d线为2：3；线为3：4。 中国绅学我术大李
一般解析步骤 1. 因C, O是经常出现的，所以首先识别C, O的光电子谱线， Auger线及属于C, O的其他类型的谱线； 2. 其次鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线， 利用X射线光电子谱手册中的各元素的峰位表确定其他强 峰对应的元素，并标出其相关峰，注意有些元素的个别 峰可能相互干扰或重叠； 3. 最后鉴别剩余的弱谱线，假设它们是含量低的未知元素 的主峰（最强谱线）； 4. 对于 p，d，f 谱线的鉴别应注意它们一般应为自旋双线 结构，其双峰间距及峰高比一般为一定值（有助于识别 元素） 。p峰的强度比为1:2；d线为2:3；f线为3:4
XPS谱图中的元素鉴别 40 OKLL Auger 32 Cu 2p 24 Cu LMM Auger 16 NIs CI2p Cu3s Cu3p 1000 800 er(ev 400 200 中国绅学我术大学 niversity of Science and Technology of China
XPS谱图中的元素鉴别 Cu 2p O KLL Auger O 1s N 1s C 1s Cu LMM Auger Cu 3p Cu 3s Cl 2p
5.1.2、数据采集-高分辨谱(Detail scan) ，对感兴趣的几个元素的峰，可进行窄区域高分辨细扫描。 目的是为了获取更加精确的信息，如结合能的准确位置， 鉴定元素的化学状态，或为了获取精确的线形，或者为了 定量分析获得更为精确的计数，或为了扣除本底或峰的分 解或退卷积等数学处理。 window 2 window I 800 600 400 200 ▣from275 eV up to300eV ▣from675 eV up to700eV 中国绅学我术大学
5.1.2、数据采集-高分辨谱(Detail scan) 对感兴趣的几个元素的峰，可进行窄区域高分辨细扫描。 目的是为了获取更加精确的信息，如结合能的准确位置， 鉴定元素的化学状态，或为了获取精确的线形，或者为了 定量分析获得更为精确的计数，或为了扣除本底或峰的分 解或退卷积等数学处理
氟处理的聚合物例子 F1s C-C-F C-F C-O c-2 C-F3 CF-CFx C-c F KLL 296292 288 284280 01s C1s F 2s A 1000 800 600 400 200 Binding Energy (eV) 中国绅学我术大学 University of Science and Technology of China
氟处理的聚合物例子