天津大学：《工程光学》课程PPT教学课件（几何光学、物理光学）第十一章 光的干涉和干涉系统（11.5）典型的双光束干涉系统及其应用

第五节典型的双光束干涉系统及其应用 典型干涉系统 、斐索( Fizeau)干涉仪:等厚干涉型的干涉仪 1)激光平面干涉仪 的组成和工作原理 天津大学精仪学院 G LPQ 天津大学作 激光平面干涉仪 24

1 第五节 典型的双光束干涉系统及其应用 一、典型干涉系统 1、斐索 ( Fizeau ) 干涉仪：等厚干涉型的干涉仪 L3 G L2 P Q L1 激光平面干涉仪 1）激光平面干涉仪 的组成和工作原理

2)主要用途 测定平板表面的平面度 和局部误差 天津大学精仪学院 测量平行平板的平行度 和小角度光楔的楔角 测量透镜的曲率半径 天津大学作 24

2 a e 2）主要用途 ¶ 测定平板表面的平面度 和局部误差 ¶ 测量平行平板的平行度 和小角度光楔的楔角 ¶ 测量透镜的曲率半径

测量平行平板的平行度和小角度光楔的楔角 Q 天津大学精仪学院 LI Q 激光平面干涉仪 天津大学作 24

3 ¶ 测量平行平板的平行度和小角度光楔的楔角 L3 G L2 Q L1 激光平面干涉仪 e a

测量透镜的曲率半径 h P D 1D R △k R 天津大学精仪学院 R R h= N 2 牛顿环 天津大学作 24

4 D h R1 R2 P Q 2 8 1 1 8 2 1 2 2  =  =          = − h N k D R R D h ¶ 测量透镜的曲率半径 牛顿环

球面干涉仪 concave convex Q 天 Position 津大学精仪学院 Position Reference surfac 天津大学作 surface 24

5 球面干涉仪 L L L L P Q