沈阳仪仪袤研究所 沈阳仪器仪表研究所 生产的OEM微硅压力传感器系列、双向 静压过载微差压传感器系列,市场需求量较 大,已形成小规模生产能力,计划逐步建成 150万只的生产规模
沈阳仪器仪表研究所 ◼ 沈阳仪器仪表研究所 生产的OEM微硅压力传感器系列、双向 静压过载微差压传感器系列，市场需求量较 大，已形成小规模生产能力，计划逐步建成 150万只的生产规模
信息产业部24所 信息产业部24所 主要生产专用模拟集成电路,拥有各种 IC生产线,他们从“九五”开始与重庆 大学合作进行MEMS的研究,参与了微 触觉传感器和生物芯片的生产
信息产业部24所 ◼ 信息产业部24所 主要生产专用模拟集成电路，拥有各种 IC生产线，他们从“九五”开始与重庆 大学合作进行MEMS的研究，参与了微 触觉传感器和生物芯片的生产
东南大学 东南大学 东南大学和国际风险投资资金合作成立有E fe公司,主要开发生产有自主知识产权的 蹬的念哲药裁角某婚度留袍豪种, 安等部门服务。 该芯片及其平台在医院中可以代替传统的基 有速度快、成本低的优 前,E-ife公司正在与医院进行联合研究 可望形成较大的产值。 东南大学还研制了硅微加速度计和陀螺等
东南大学 ◼ 东南大学 东南大学和国际风险投资资金合作成立有Elife公司，主要开发生产有自主知识产权的 DNA分析芯片及其相配套的平台。这种高密 度的芯片将被用来建立人口基因档案，为公 安等部门服务。 该芯片及其平台在医院中可以代替传统的基 因检测方法，具有速度快、成本低的优点。 目前，E-life公司正在与医院进行联合研究， 可望形成较大的产值。 东南大学还研制了硅微加速度计和陀螺等
华北二工学院撒米纳米技术研究中心 ■华北工学院微米纳米技术研究中心 主要从事微机械加速度计、微陀螺和微 惯性测量组合的应用系统研究,正在开展 军用和民用的惯性系统、新型的单兵作战 系统以及道路、桥梁的监测系统等方面的 工作
华北工学院微米纳米技术研究中心 ◼ 华北工学院微米纳米技术研究中心 主要从事微机械加速度计、微陀螺和微 惯性测量组合的应用系统研究，正在开展 军用和民用的惯性系统、新型的单兵作战 系统以及道路、桥梁的监测系统等方面的 工作
新江大学 浙江大学 研制的纳米碳管、微透镜阵列、蛋白质生 物芯片比较成熟,可望投入生产。另外他 们也很重视设备的研制,可以向市场提供 反应离子束蚀刻机、双元STM纳米检测仪 他们还硏制了硅微加速度计、微陀螺、微 真空计、微高度计等
浙江大学 ◼ 浙江大学 研制的纳米碳管、微透镜阵列、蛋白质生 物芯片比较成熟，可望投入生产。另外他 们也很重视设备的研制，可以向市场提供 反应离子束蚀刻机、双元STM纳米检测仪。 他们还研制了硅微加速度计、微陀螺、微 真空计、微高度计等