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国内的主要研究现状及成果 ◼ 清华大学 广泛开展了多种微型传感器(微加速度计、微陀螺、 微磁场计、微压力传感器、微流量传感器、微麦克 风等)、微泵、微阀、微喷、微毛细管电泳仪、微光 开关、RF-MEMS器件、微光谱仪、DNA芯片等的 研究。其中，微加速度汁和微泵正在准备生产；微 毛细管电泳仪已经制成样机，可以用于药物分析和 环境监测，具有广阔的市场潜力，正在向市场化推 进。 清华大学于2000年6月发射成功进入700km太阳轨 道的“航天清华一号”微小卫星，运行状况良好。 其特点是质量轻(50kg)、体积小(0.07 )、研制周 期短(约1年)、成本低、功能密度高，体现了我国 MEMS技术在微小卫星中的应用取得重大突破。 3 m
北京大学微电子所 北京大学微电子所 以IC加工生产线为基础,开展了体硅工艺和 表面工艺研究,已形成了较成熟的工艺技术, 硏制了硅微高加速度计、微化学传感器等, 计划利用2年时间实现微型继电器、可调电 容和微光学器件的小批量生产,已经得到环 宇-青岛公司的资金投入
北京大学微电子所 ◼ 北京大学微电子所 以IC加工生产线为基础，开展了体硅工艺和 表面工艺研究，已形成了较成熟的工艺技术， 研制了硅微高加速度计、微化学传感器等， 计划利用2年时间实现微型继电器、可调电 容和微光学器件的小批量生产，已经得到环 宇－青岛公司的资金投入
信息产业部13所 信息产业部13所 已经建成体硅加工的小批量制造基地,研 制了微加速度计、微陀螺、红外隧穿传感 器、微光器件等,在“十五计划”期间, 他们将发展重点放在航空航天和信息技术 领域,准备开发微小卫星、惯性组件、 RF-MEMS器件和光交换设备等
信息产业部13所 ◼ 信息产业部13所 已经建成体硅加工的小批量制造基地，研 制了微加速度计、微陀螺、红外隧穿传感 器、微光器件等，在“十五计划”期间， 他们将发展重点放在航空航天和信息技术 领域，准备开发微小卫星、惯性组件、 RF—MEMS器件和光交换设备等
信息产业部49所 信息产业部49所 从20世纪80年代初就开始从事微传感器的 相关硏究,主要制造不同规格的微压力传感 器、气敏/湿敏传感器、流量传感器等,并 研制为武器装备配套的微加速度计,争取在 2002年实现5000只的规模
信息产业部49所 ◼ 信息产业部49所 从20世纪80年代初就开始从事微传感器的 相关研究，主要制造不同规格的微压力传感 器、气敏／湿敏传感器、流量传感器等，并 研制为武器装备配套的微加速度计，争取在 2002年实现5000只的规模
中国料学院上海冾金所 中国科学院上海冶金所 研制了微加速度计、微陀螺、微压力传感 器、微红外传感器阵列、微光器件等多种 MEMS器件,作为首席专家单位主持973项 目“集成微光机电系统″硏究,并开展了微 小卫星的研究
中国科学院上海冶金所 ◼ 中国科学院上海冶金所 研制了微加速度计、微陀螺、微压力传感 器、微红外传感器阵列、微光器件等多种 MEMS器件，作为首席专家单位主持973项 目“集成微光机电系统”研究，并开展了微 小卫星的研究