重庆大学 重庆大学 研究了微加速度阵列、光压力传感器、 触觉传感器细胞流变学测量仪、微型光 谱仪等
重庆大学 ◼ 重庆大学 研究了微加速度阵列、光压力传感器、 触觉传感器细胞流变学测量仪、微型光 谱仪等
中国科学院电子所 中国科学院电子所 开发了微气敏传感器、微波功率传感器、 谐振式和真空微电子压力传感器、微pH传 感器等。他们的另一个研究重点是微生物 传感器和微分析系统,正在硏究微芯片 PCR扩增仪、CE微型毛细管电泳仪、DNA 微型检测仪等
中国科学院电子所 ◼ 中国科学院电子所 开发了微气敏传感器、微波功率传感器、 谐振式和真空微电子压力传感器、微pH传 感器等。他们的另一个研究重点是微生物 传感器和微分析系统，正在研究微芯片 PCR扩增仪、CE微型毛细管电泳仪、DNA 微型检测仪等
中国科学院合肥智能机械研究所 中国科学院合肥智能机械研究所 从1989年起就开始进行微机械加工技术研究,以 MEMS技术为主要实现手段,以研制生物医学、航天 等领域的微型传感器与微型机器人系统为目标,研究 微传感器、微执行器与微系统。 研究了硅各向异性腐蚀工艺、电化学掺杂选择腐蚀工 艺、硅_硅静电键合工艺,硏制了硅微力传感器、微 结构气敏阵列传感器、集成化硅触觉阵列传感器、微 型三维力传感器、表面微加工转速传感器、无线驱动 体内微机器人等。 目前正在硏制爆炸物探测微阵列、微型六维力探针、 柔性触觉传感器、能够进入人体的肠胃进行检查的微 机器人等微机电系统
中国科学院合肥智能机械研究所 ◼ 中国科学院合肥智能机械研究所 从1989年起就开始进行微机械加工技术研究，以 MEMS技术为主要实现手段，以研制生物医学、航天 等领域的微型传感器与微型机器人系统为目标，研究 微传感器、微执行器与微系统。 研究了硅各向异性腐蚀工艺、电化学掺杂选择腐蚀工 艺、硅—硅静电键合工艺，研制了硅微力传感器、微 结构气敏阵列传感器、集成化硅触觉阵列传感器、微 型三维力传感器、表面微加工转速传感器、无线驱动 体内微机器人等。 目前正在研制爆炸物探测微阵列、微型六维力探针、 柔性触觉传感器、能够进入人体的肠胃进行检查的微 机器人等微机电系统
哈尔滨工业大学 主要研究机构 航天学院MEMS中心、机器人研究所MEMS研 究组、机电工程学院微机电研究室、机械制造 及其自动化MEMS研究组等
哈尔滨工业大学 ◼ 主要研究机构 航天学院MEMS中心、机器人研究所MEMS研 究组、机电工程学院微机电研究室、机械制造 及其自动化MEMS研究组等
微机电系统的特死 尺寸微小是微机电系统的基本特征 当尺寸小到微米或亚微米量级时,会产生微尺寸效 应。它的影响将反映到诸如结构材料、设计理论、制 造方法、在微小范围内各种能量的相关作用及测量技 术等许多方面。也就是说,工程上常用的尺寸缩放法 不适用于由微尺寸元器件组成的微装置;因而,传统 的设计理论、方法及一些物理定律不能完全套用,许 多理念需要更新和重新建立,必须从新的构思出发去 探索微机械由于尺寸效应形成的些特殊现象和规律
微机电系统的特征 ◼ 尺寸微小是微机电系统的基本特征 当尺寸小到微米或亚微米量级时，会产生微尺寸效 应。它的影响将反映到诸如结构材料、设计理论、制 造方法、在微小范围内各种能量的相关作用及测量技 术等许多方面。也就是说，工程上常用的尺寸缩放法 不适用于由微尺寸元器件组成的微装置；因而，传统 的设计理论、方法及一些物理定律不能完全套用，许 多理念需要更新和重新建立，必须从新的构思出发去 探索微机械由于尺寸效应形成的一些特殊现象和规律