微机电糸统设计与制造 姜骠、夏宇宏 2005.2
微机电系统设计与制造 姜洪源、夏宇宏 2005.2
课程介绍的至要内容 ■1、微机电系统概论 2、微机电系统功能材料 ■3、微机械加工制造技术 "4、微机械执行器 5、微机械传感器 6、微机械弱信号检测与处理 7、微机电系统设计技术 8、微封裝、微构件及微尺寸效应
课程介绍的主要内容 ◼ 1、微机电系统概论 ◼ 2、微机电系统功能材料 ◼ 3、微机械加工制造技术 ◼ 4、微机械执行器 ◼ 5、微机械传感器 ◼ 6、微机械弱信号检测与处理 ◼ 7、微机电系统设计技术 ◼ 8、微封装、微构件及微尺寸效应
至要教材及参考书 莫锦秋梁庆华等,《微机电系统设计与制造》,化 学工业出版社,20043 刘广玉樊尚春等,《微机械电子系统及其应用》, 北京航空航天大学出版社,2003.2 (美)徐泰然著,王晓浩等译《MEMS和微系统一 设计与制造》,机械工业出版社,20041 ■梅涛伍小平主编,《微机电系统》,化学工业出版 社,2003.1 [德J] WMenz小Mohr等著,王春海于杰等译《微系 统技术》,化学工业出版社,2003.9
主要教材及参考书 ◼ 莫锦秋 梁庆华等，《微机电系统设计与制造》，化 学工业出版社，2004.3 ◼ 刘广玉 樊尚春等，《微机械电子系统及其应用》， 北京航空航天大学出版社，2003.2 ◼ （美）徐泰然著，王晓浩等译《MEMS和微系统— 设计与制造》，机械工业出版社，2004.1 ◼ 梅涛 伍小平主编，《微机电系统》，化学工业出版 社，2003.1 ◼ [德]W.Menz J.Mohr等著，王春海 于杰等译《微系 统技术》，化学工业出版社，2003.9
第一章 微机电系统概论 (微机电系统的起源、国内外发展现状及应用)
第一章 微机电系统概论 （微机电系统的起源、国内外发展现状及应用）
简介 机械与机电系统;宏观机电系统与微机电系统 微机电系统: 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基 本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机 械装置。 特点: 1、学科交叉(力学、机械、电学、光学、电磁学、生 物、化学等学科)2、微型化、集成化和智能化;3 低成本批量化;4、应用广泛(军民两用)5、高新技 术 微机电系统的相关术语: MEMS( Microelectromechanical Systems)(美国) Micro machine(日本)
简 介 ◼ 机械与机电系统；宏观机电系统与微机电系统 ◼ 微机电系统： 它是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基 本元器件组成的、可以活动和控制的、机电合一的微机 械装置。 ◼ 特点： 1、学科交叉（力学、机械、电学、光学、电磁学、生 物、化学等学科）2、微型化、集成化和智能化；3、 低成本批量化；4、应用广泛（军民两用）5、高新技 术。 ◼ 微机电系统的相关术语： MEMS(Microelectromechanical Systems)（美国） Micro Machine （日本） Micro System Technology （欧洲）