第四章电容式传感器 5.1工作原理与类型 52转换电路 53性能、特点及设计要点 54电容传感器应用 55电容式集成传感器
第四章电容式传感器 5.1 工作原理与类型 5.2 转换电路 5.3 性能、特点及设计要点 5.4电容传感器应用 5.5 电容式集成传感器
第一节工作原理和类型 定义:将被测非电量的变化转换为电容量变化的 传感器。 应用:位移、加速度、液位、振动及湿度
第一节 工作原理和类型 定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的 传感器。 应用：位移、加速度、液位、振动及湿度
原理式 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应,其电容量为 C、ES 式中:ε电容极板间介质的介电常数,e=8·,其中E为真空 介电常数,c为极板间介质相对介电常数 S—两平行板所覆盖的面积 两平行板之间的距离
由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为 一、原理式 r 0 S S C = = 式中: ε——电容极板间介质的介电常数, ε =ε0·εr , 其中ε0为真空 介电常数, εr为极板间介质相对介电常数; S——两平行板所覆盖的面积; ——两平行板之间的距离
当被测参数变化使得式中的S,ε或δ发生变 化时,电容量C也随之变化。如果保持其中两个 参数不变,而仅改变其中一个参数,就可把该参 数的变化转换为电容量的变化,通过测量电路就 可转换为电量输出。因此,电容式传感器可分为 变极距型、变面积型和变介质型三种类型
当被测参数变化使得式中的S, ε或 发生变 化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个 参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参 数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就 可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为 变极距型、变面积型和变介质型三种类型。
类型变极距(间距)型电容传感器 当传感器的8和S为常数,初始板距为时,可知其初 始电容量C0为
二、 类型变极距（间距）型电容传感器 当传感器的ε和S为常数, 初始极距为 时, 可知其初 始电容量C0为 0 S C =