图1-171998年的滕上型计算机
国外的发医现状(1 美国 国家自然科学基金、先进研究计划、国防部等投资1.4亻 款电算销瓶桑的本起角赛辰套助下,完成 主要研究方向 精密制导武器、灵巧武器、侦察通讯、破坏敌方指挥系 统及战斗力、研制微型卫星及纳米卫星等 主要实用化成果: ark公司开发研制出用于扫描隧道显微镜(STM)和原 子力显微镜、AFM)的微型传感器; Texas公司开发出 用于彩色图像投影显示的数子镜面器件(DMD)AD 司于发研制的加速度 管芯尺寸为15mm*15mm, 程达50g,灵敏度为15mV/等
国外的发展现状（1） ◼ 美国 国家自然科学基金、先进研究计划、国防部等投资1.4亿 美元进行微机电系统技术研究。在军方资助下，完成了 《微电子机械系统的军事应用》研究报告。 ◼ 主要研究方向： 精密制导武器、灵巧武器、侦察通讯、破坏敌方指挥系 统及战斗力、研制微型卫星及纳米卫星等。 ◼ 主要实用化成果： Park公司开发研制出用于扫描隧道显微镜（STM）和原 子力显微镜（AFM）的微型传感器；Texas公司开发出 用于彩色图像投影显示的数子镜面器件（DMD）；AD 公司开发研制的加速度计，管芯尺寸为1.5mm*1.5mm， 量程达 50g，灵敏度为15mv/g等
国外的发展现状(2) 欧共体 成立了 NEXUS(多功能微系统研究合作机构)组织; 德国制定了微机械系统技术计划(1990~1995投资共 40亿马克),20世纪80年代中期发展了一种LGA 深度同步辐射X射线光刻、电镀和模铸)工艺,深化 了平面加工技术,实现了高宽比大于200的三维立体结 构的加工制造,被加工材料也扩展为金属、塑料和陶 瓷。被公认为是一种最有发展前景的超微细加工方法。 主要研究机构和实用化成果 Karlsruhe核研究中心、微技术研究所(IMM Microparts公司等。已开发研制出微传感器、微电机、 微执行器、集成光学和微光茡元件、微型流量计以及 直径为数百微米的金属双联齿轮等
国外的发展现状（2） ◼ 欧共体 成立了NEXUS（多功能微系统研究合作机构）组织； 德国制定了微机械系统技术计划（1990～1995投资共 40亿马克），20世纪80年代中期发展了一种LIGA （深度同步辐射X射线光刻、电镀和模铸）工艺，深化 了平面加工技术，实现了高宽比大于200的三维立体结 构的加工制造，被加工材料也扩展为金属、塑料和陶 瓷。被公认为是一种最有发展前景的超微细加工方法。 ◼ 主要研究机构和实用化成果 Karlsruhe核研究中心、微技术研究所（IMM）、 Microparts公司等。已开发研制出微传感器、微电机、 微执行器、集成光学和微光学元件、微型流量计以及 直径为数百微米的金属双联齿轮等
国外的发展现状(3) 日本 制定了纳米制造计划(1985~1990年)、埃技术计划 (1992~2001年计划投资1.85亿美元)、微机器人计 划。计划生产两台微型机器人用于医学诊断(或微型 手术)和飞机发动机(或原子能设备)的微小裂纹的 维修诊断。现有MEMS研究机构60余个(企业占2/ 3),1990年成立了微机械中心(MMC)和微机械学 会(MST)。每年举办一次MEMS国际研讨会 主要实用性成果 利用电火花加工技术、I技术和光成型技术加工出各 种传感器和执行器,研制成功主要用于生物和医疗的 微型机器人。有三本专著出版
国外的发展现状（3） ◼ 日本 制定了纳米制造计划（1985～1990年）、埃技术计划 （1992～2001年计划投资1.85亿美元）、微机器人计 划。计划生产两台微型机器人用于医学诊断（或微型 手术）和飞机发动机（或原子能设备）的微小裂纹的 维修诊断。现有MEMS研究机构60余个（企业占2／ 3），1990年成立了微机械中心（MMC）和微机械学 会（MST）。每年举办一次MEMS国际研讨会。 ◼ 主要实用性成果 利用电火花加工技术、IC技术和光成型技术加工出各 种传感器和执行器，研制成功主要用于生物和医疗的 微型机器人。有三本专著出版
国内的发展现状 ■主要研究机构 华北地区:清华大学、北京大学、中科院电子 所、信息产业部13所、华北工学院微米纳米技 术研究中心等。华东地区:中科院上海冶金所、 上海交通大学、复旦大学、东南大学、浙江大 学、上海大学、厦门大学等。东北地区:信息 产业部49所、哈尔滨工业大学、中科院长春光 机所、大连理工大学、沈阳仪器仪表工艺研究 所等。西南地区:重庆大学、信息产业部24所、 26所、44所等。西北地区:西安交通大学、航 空618所、航天771所、航天16所等
国内的发展现状 ◼ 主要研究机构 华北地区：清华大学、北京大学、中科院电子 所、信息产业部13所、华北工学院微米纳米技 术研究中心等。华东地区：中科院上海冶金所、 上海交通大学、复旦大学、东南大学、浙江大 学、上海大学、厦门大学等。东北地区：信息 产业部49所、哈尔滨工业大学、中科院长春光 机所、大连理工大学、沈阳仪器仪表工艺研究 所等。西南地区：重庆大学、信息产业部24所、 26所、44所等。西北地区：西安交通大学、航 空618所、航天771所、航天16所等