微机电系统的组扆 ■微机械电子系统(微机电系统)的组成: 一般可定义为由微米和纳米加工技术制作而成的,融机、 电、光、磁以及其他相关技术群为一体的,可以活动和 控制的微工程系统。目前,人们泛称其为MEMS。它是 以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器 件组成的、自动化性能高的、可以活动和控制的、机电 合一的微机械装置。 用它进行的操作是极其微细的,有的操作已经到了单个 细胞乃至分子范筹;有的微型敏感元件能敏感到单个原 子,能进行原子量级的探测。如此细微的工作状况,用 肉眼是不能分辨的,必须借助显微术或专用仪器来观察 和控制
微机电系统的组成 ◼ 微机械电子系统(微机电系统)的组成： 一般可定义为由微米和纳米加工技术制作而成的，融机、 电、光、磁以及其他相关技术群为一体的，可以活动和 控制的微工程系统。目前，人们泛称其为MEMS。它是 以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器 件组成的、自动化性能高的、可以活动和控制的、机电 合一的微机械装置。 用它进行的操作是极其微细的，有的操作已经到了单个 细胞乃至分子范筹；有的微型敏感元件能敏感到单个原 子，能进行原子量级的探测。如此细微的工作状况，用 肉眼是不能分辨的，必须借助显微术或专用仪器来观察 和控制
微机电系统的发展状况 微机械电子系统,即微机械技术,是20世纪80年代后 期国际上兴起的一项高技术。它以集成电路技术、表面 加工技术和纳米精加工技术为基础,具有极大的学科交 叉性,微机电系统的设计与制造涉及到设计、材料、制 造、测试、控制、能源以及连接等相关技术。与传统机 械系统相比,除在尺度上很小外,它还是一种高度智能 化和高度集成化的系统。微机电系统的研究是制造技术 上的一场革命,在21世纪的机械发展过程中将占有主导 地位。 微机械技术将是一项新兴的产业,会优先在生物、医 疗、航空、航天、电子产品、过程控制及测试技术等领 域获得广泛的应用
微机电系统的发展状况 ◼ 微机械电子系统，即微机械技术，是20世纪80年代后 期国际上兴起的一项高技术。它以集成电路技术、表面 加工技术和纳米精加工技术为基础，具有极大的学科交 叉性，微机电系统的设计与制造涉及到设计、材料、制 造、测试、控制、能源以及连接等相关技术。与传统机 械系统相比，除在尺度上很小外，它还是一种高度智能 化和高度集成化的系统。微机电系统的研究是制造技术 上的一场革命，在21世纪的机械发展过程中将占有主导 地位。 微机械技术将是一项新兴的产业，会优先在生物、医 疗、航空、航天、电子产品、过程控制及测试技术等领 域获得广泛的应用
集尿电路技术的效展 图1-2第一个集成电路(1958年 图1-3第一个平面晶 第一个晶体管(1947年) 体管(1959年)
集成电路技术的发展
米辱体晶体管计算机 图1-151947年的 ENIAC数字计算机
半导体晶体管计算机
上世纪末的计算机片 图1-16小型化了的 ENIAC (征得宾夕法尼亚大学工程和应用科学学院(原Mooe电子工程学院)许可
上世纪末的微型计算机芯片