三、传感器的发展方向 3.传感器的智能化 “电五官”与“电脑”的相结合，就是传感器 的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转 换功能，同时还具有记忆、存储、解析、统计处 理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步 将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上， 就成为智能传感器。 BACK
◼ 3. 传感器的智能化 ◼ “电五官”与“电脑”的相结合，就是传感器 的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转 换功能，同时还具有记忆、存储、解析、统计处 理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步 将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上， 就成为智能传感器。 三、传感器的发展方向
2.2 线位移检测传感器 ■一、光栅位移传感器 ■二、感应同步器 ■三、磁栅位移传感器
2.2 线位移检测传感器 ◼ 一、光栅位移传感器 ◼ 二、感应同步器 ◼ 三、磁栅位移传感器
一、光栅位移传感器 1、光栅的构造： 100:1士 W 1.标尺光栅 2.指示光栅 3.光电元件 4.光源
一、光栅位移传感器 3 2 4 1 1.标尺光栅 2.指示光栅 3.光电元件 4.光源 1、光栅的构造：
一、 光栅位移传感器 ▣2、工作原理 把两块栅距W相等的光栅平行安装，且让它们的刻痕之间 有较小的夹角时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条 纹，这种条纹称莫尔条纹，它们沿着与光栅条纹几乎垂直的 方向排列，如图所示。 指示光栅 标尺光栅 W/2 W/2 d d f f d d d f d d
◼ 2、工作原理 一、光栅位移传感器 d d f f d d B f f d d W/2 W θ d d W/2 指示光栅 标尺光栅 把两块栅距W相等的光栅平行安装，且让它们的刻痕之间 有较小的夹角θ时，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条 纹，这种条纹称莫尔条纹，它们沿着与光栅条纹几乎垂直的 方向排列，如图所示
一、 光栅位移传感器 莫尔条纹具有如下特点： ·1莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每 移动过一个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条 纹间距B 2莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距 B与两光栅条纹夹角之间关系为 B W 2sin 2 ■3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用
◼ 莫尔条纹具有如下特点： ◼ 1.莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每 移动过一个栅距W，莫尔条纹就移动过一个条 纹间距B ◼ 2.莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距 B与两光栅条纹夹角之间关系为 ◼ 3.莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 一、光栅位移传感器 B = W W 2 2sin