集成电子学 电子科技大学电子学院
集成电子学 电子科技大学电子学院
主要内容 超大规模集成导论 缩小到纳米尺度CMOS器件面临的挑战 VLS集成物理 纳米CMOS器件中的栅工程 纳米CMOS器件的沟道工程和超浅结技术 新型纳米CMOS器件
• 超大规模集成导论 • 缩小到纳米尺度CMOS器件面临的挑战 • VLSI集成物理 • 纳米CMOS器件中的栅工程 • 纳米CMOS器件的沟道工程和超浅结技术 • 新型纳米CMOS器件
第一章超大规模集成导论 硅基MOS集成电路仍将是微电子技术的主流 微电子工业是国民经济信息化的基石 集成电路是微电子技术的核心，如果以单位质 量的“钢”对国民生产总值的贡献为1来计算， 则小轿车为5，彩电为30，计算机100，集成电 路是1000
¨ 硅基MOS集成电路仍将是微电子技术的主流 ¨ 微电子工业是国民经济信息化的基石 ¨ 集成电路是微电子技术的核心， 如果以单位质 量的“钢”对国民生产总值的贡献为1来计算， 则小轿车为5，彩电为30，计算机100，集成电 路是1000
美国国民经济的构成关系统计： 集成电路 电子产品 国民经济产值 1~2美元 10美元 100美元 即发达国家经济关系：GDP每增长100元，需要10 元左右电子工业产值和1~2元集成电路产值的支持。 欧美发达国家的一般统计规律 集成电路产值的增长率≈1.52倍电子工业 产值的增长率 电子工业产值的增长率≈3倍国民经济GDP 的增长率
美国国民经济的构成关系统计： 即发达国家经济关系：GDP每增长100元，需要10 元左右电子工业产值和1~2元集成电路产值的支持。 欧美发达国家的一般统计规律： § 集成电路产值的增长率 ≈ 1.5~2倍电子工业 产值的增长率 § 电子工业产值的增长率 ≈ 3倍国民经济GDP 的增长率
经济上：1美金的集成电路所能带动的GDP,相当于100 美金。而全世界集成电路的全年产值撬动的GDP相当于 中国和美国GDP之和。 100$GDP 1$芯片 技术上：集成电路促进了包括自动化装备、制造装备 以及精密仪器、微细加工等40多个工程技术的发展。 40多学科及 工程技术 集成电路
• 经济上：1美金的集成电路所能带动的GDP，相当于100 美金。而全世界集成电路的全年产值撬动的GDP相当于 中国和美国GDP之和。 技术上：集成电路促进了包括自动化装备、制造装备 以及精密仪器、微细加工等40多个工程技术的发展