(1)、原子百分数的计算 归一化面积(W,由谱峰面积(I)来计算 NA=IA/S: 因而样品中任一元素的相对原子浓度由下式算出： C4= NA×100 ∑N 简中国斜草我术大室 niverstty of Science and Technology of China
归一化面积(NA)由谱峰面积(IA)来计算 NA = IA / Si 因而样品中任一元素的相对原子浓度由下式算出: (1)、原子百分数的计算 100 A A i i N C N 1 1 3
(2)、灵敏度因子 灵敏度因子（归一化因子）包括下面几项： X射线电离截面项 (特定跃迁将产生多少光电子) 分析深度项 (并入I值中) ，传输函数项 (谱仪对特定动能电子检测的能力) ，不同仪器得出的灵敏度因子之间的归一化 (比如CMA和HAS之间) 中国绅学我术大字 University of Science and Technology of China
(2)、灵敏度因子 灵敏度因子(归一化因子)包括下面几项: X射线电离截面项 (特定跃迁将产生多少光电子) 分析深度项 (并入l值中) 传输函数项 (谱仪对特定动能电子检测的能力) 不同仪器得出的灵敏度因子之间的归一化 (比如 CMA和HAS之间 ) 1 1 3
元素的相对灵敏度因子 12 10 3d 8 Ansues 6 41 2p 4d 1s LLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLL Li B N F Na Al P CI K Sc V M CoCu G As Br Rb Y Nb TcRhAg In Sb I CsLa Pr P EuTbHo T LuTaRe Ir Au TI Bi Be C O Ne M Si S Ar Ca Ti Cr Fe Ni Zn G Se Kr Sr Zr M RuPdCd SnTeXeBa CeNd S G Dy ErYb Hf W OsPt HgPb Elemental Symbol 中国绅学我术大学 Universtty of Science and Technology of China
元素的相对灵敏度因子 0 2 4 6 8 1 0 1 2 Elemental Symbol Relative Sensitivity L i B e B C N O F Ne Na M A l S i P S Cl A r K Ca S c T i V Cr M Fe Co Ni Cu Zn G G A s S e B r K r Rb S r Y Zr Nb M T c Ru Rh P d A g Cd I n S n S b T e I X e Cs B a L a Ce P r Nd P S E u G T b Dy Ho E r T Y b L u Hf T a W Re O s I r P t A u Hg T l P b B i 1s 2p 3d 4d 4f
(3)、原子浓度的计算方法 由两不同的数据库计算的归一化面积为： Scofield NA=Peak Area/SF(Scofield)x E0.6 x TF Wagner NA=Peak Area/SF(Wagner)x E x TF 因而给出原子浓度： C4=At%4= NA×100 ∑N 中国绅学我术大学 University of Science and Technology of China
由两不同的数据库计算的归一化面积为: Scofield NA = Peak Area/SF(Scofield) x E0.6 x TF Wagner NA = Peak Area/SF(Wagner) x E x TF 因而给出原子浓度: (3)、原子浓度的计算方法 At% 100 A A A i i N C N 1 3
6.1.3、定量精确度和误差来源 使用原子灵敏度因子法进行定量分析： 戴税 套离手普零盘定薪泰夏盒克物，报 以XPS弱峰、（其峰强度为最强峰的10-20%)的定量 精确度是甚真值的60-80%，并依赖于改善信菜比 的努方程度。 正确报 定量果 98%。 盆唪凭量莜蠢类耗鬆翥昊絞屡看孱鬍窿因子的最 中国斜草投术大室 niverstty of Science and Technology of China
6.1.3、定量精确度和误差来源 使用原子灵敏度因子法进行定量分析： 在优化条件下，对每个主峰从ＸＰＳ主峰计算的 原子百分数值的定量精确度为 90-95%。若使用高 水平质量控制规程，精确度能进一步改善。 在常规工作条件下，材料表面混合有污染物，报 告的原子百分数值定量精确度为80%~90%。 以XPS弱峰（其峰强度为最强峰的10-20%）的定量 精确度是其真值的 60-80%，并依赖于改善信噪比 的努力程度。 定量精密度（重复测量并得到相同结果的能力） 是正确报告定量结果的基本考量。95%的置信度是 可认为有效的。XPS在一般情形下定量精密度优于 98%。 对于任一元素选择具有最大原子灵敏度因子的最 强峰定量以最大化检测灵敏度和精确度。 1 1 3