电子种技女学光电科学与工程学院 SCHOOL OF OPTOELECTRONIC SCIENCE AND ENGINEERING OF UESTC 第2章薄膜技术 目录 简介 2.1真空热蒸发镀膜技术 2.2溅射镀膜技术 2.3化学气相沉积技术 2.4光刻技术 2.5刻蚀
第2章 薄膜技术 目录 简介 2.1 真空热蒸发镀膜技术 2.2 溅射镀膜技术 2.3 化学气相沉积技术 2.4 光刻技术 2.5 刻蚀
简介 薄膜： 在厚度这一特定方向上尺寸很小，且在厚度方向上由于表面、界面的 存在，使物质连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料不同的 独特性能
简介 薄膜：在厚度这一特定方向上尺寸很小，且在厚度方向上由于表面、界面的 存在，使物质连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料不同的 独特性能
绝缘层 TFT中薄膜的分类 半导体有源层 绝缘基板 顶栅底接触结构 1.广义上：气态薄膜、液态薄膜、固体薄膜 2.按结晶状态：非晶体、多晶、单晶 3.从化学角度：有机、无机薄膜 4.依元素分：金属薄膜、非金属薄膜 5.按物理性能：金属导电薄膜、半导体薄膜、介电薄膜等
TFT中薄膜的分类 1. 广义上：气态薄膜、液态薄膜、固体薄膜 2. 按结晶状态：非晶体、多晶、单晶 3. 从化学角度：有机、无机薄膜 4. 依元素分：金属薄膜、非金属薄膜 5. 按物理性能：金属导电薄膜、半导体薄膜、介电薄膜等 顶栅底接触结构
薄膜的制备方法 化学气相沉积 磁控溅射 电子束蒸发 直流溅射 薄膜制备方法 脉冲激光沉积 真空热蒸发
薄膜的制备方法
a-IGZO SCAN 包 薄膜的图形化方法 TT TG GND GND BG sync via Top Oate (TO) (Vta=Vae) 020 Bettor Gate [ glass aubairste 什么是图形化？ 光刻 ?? ?? 溥膜图案形成方法一 ?? ??
薄膜的图形化方法 什么是图形化？