电子种技女学光电科学与工程学院 SCHOOL OF OPTOELECTRONIC SCIENCE AND ENGINEERING OF UESTC 绪论 TFT的过去、现在和未来
TFT的过去、现在和未来 绪论
三个问题 (1)什么是TFT(Thin Film Transistor)? (2)TFT发展的驱动力是什么？ (3)TFT的应用领域有哪些？
三个问题 （1）什么是TFT(Thin Film Transistor）？ （2）TFT发展的驱动力是什么？ （3）TFT的应用领域有哪些？
1.关于TFT的基本观点 >TFT是平板显示技术的核心，正如C是计算机的核心。 >TFT器件的概念及其潜在应用早于硅晶体管 >TFT一直被JFET和MOSFET掩盖 平板显示 计算机 TFT IC
TFT 平板显示 IC 计算机 1. 关于TFT的基本观点 TFT是平板显示技术的核心，正如IC是计算机的核心。 TFT器件的概念及其潜在应用早于硅晶体管 TFT一直被JFET和MOSFET掩盖
显示屏 PT880 0337CD TAIWAN 2JA2018882©@ LG Display AVING.N TFT-LCD阵列基板的整体基本布局 IC d b a像素显示区 b扫描电极外引线（栅线外引线）c信号电极外引线 d短路环 e转印电极和对盒标记「对版标记（套刻标记） g切割标记 h封盒胶框位置 i液晶注入口
IC 显示屏
2.20世纪30年代--TFT起源 什么是TFT(Thin Film Transistor)? 。 Lilienfeld在1934年的专利--场效应 -半导体有源层(Cu2S),绝缘层(Al2O3),和金属栅极(AI), Heil在1935的专利中提出TFT结构 一 材料：碲，氧化亚铜，五氧化二钒，碘 ,1939年Shockley首次提出金属半导体场效应管(MES)结构 12 Copper.Sulfide Aluminum Oxide 1OAlumninum
2. 20世纪30年代---TFT起源 • Lilienfeld在1934年的专利----场效应 – 半导体有源层 (Cu2 S), 绝缘层 (Al2O3 ), 和金属栅极 (Al). • Heil 在 1935 的专利中提出TFT结构 – 材料:碲,氧化亚铜, 五氧化二钒,碘 • 1939年Shockley首次提出金属半导体场效应管(MES)结构 什么是TFT(Thin Film Transistor）？