©)变介质型电容传感器 电容： 插入式： C=C+C= EoErbo(。-)+S6Ebl =8e,+(e2-e川 (a) 应用：测量厚度 2)电容传感器特点及应用 特点：分辨力极高（电容值102，相对值100%一200%，位移0.01μm) 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小： 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强 应用：微信息检测--测微仪、；静态测量-金属零件计数 高频信号检测-振动，转速；
c) 变介质型电容传感器 电容： 插入式： 应用：测量厚度 = A C [ ( ) ] ( ) 1 0 2 1 0 0 0 0 0 2 0 0 0 1 0 0 1 2 l l b b l l b l C C C r r r r + − = + − = + = 2) 电容传感器特点及应用 特点：分辨力极高（电容值10-7，相对值100%~200%，位移0.01μm） 动极板质量小，惯性小，动态响应好； 非接触，自身发热和功耗小； 结构简单，不含有机材料或磁性材料、对环境适应性强 应用：微信息检测---测微仪、； 静态测量---金属零件计数 高频信号检测---振动，转速；
a)电容式位移传感器： 1-测杆： 2-片簧： 3定极板； 4动极板： 特点：接触式测量 差动结构： 测量电空Ro 777777777777777 b)电容式厚度传感器： 电流表 原理：变介质型变极距型； 被检 特点：非接触式测量 交流电源 薄膜 应用：纸张、绝缘薄膜等
1-测杆： 2-片簧： 3-定极板； 4-动极板： a) 电容式位移传感器： 原理：变介质型变极距型； b) 电容式厚度传感器： 特点：接触式测量 差动结构： 特点：非接触式测量 应用：纸张、绝缘薄膜等
3)容栅传感器 a)差动式梳齿形容栅传感器 动极板 定极板-两组极栅，等间隔，交叉 动极板极距相同，栅宽相同 定极板 相对移动电容周期变化一脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 b)多级片型容栅传感器 动尺一系列发射电极片，宽度间隔。 4 定尺-一系列接收电极片，宽度间隔4 动尺一 DHBBF0D50FB806098688080 相对移动-电容周期变化-一脉冲信号 2定尺 多个差动式变面积型电容传感器的并联 口“四 c)特点：量程大长定尺，150mm,300mm 1动尺 2定尺 精度高-误差平均效应 d)应用： 输出 测量位移-数显卡尺，分辨力0.01mm
a) 差动式梳齿形容栅传感器 3) 容栅传感器 b) 多级片型容栅传感器 c) 特点： 定极板---两组极栅，等间隔，交叉 动极板---极距相同，栅宽相同 相对移动---电容周期变化---脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 动尺---一系列发射电极片，宽度间隔l0 定尺---一系列接收电极片，宽度间隔l0 /4 相对移动---电容周期变化---脉冲信号 多个差动式变面积型电容传感器的并联 d) 应用： 量程大---长定尺，150mm, 300mm 精度高---误差平均效应 测量位移---数显卡尺，分辨力0.01mm
2、光栅式传感器 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 物理光栅：利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 计量光栅：利用光的莫尔条纹现象测量精密位移 5.0 10.0 15.0 ume
2、 光栅式传感器 --- 等节距的透光和不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件 物理光栅： 计量光栅： 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移