B( 有极靴 没有极靴 无铁壳 图1-4磁感应强度分布图 16
16 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z 图1-4 磁感应强度分布图
1.4电子透镜的缺陷和理论分辨距离 电子透镜也存在缺陷,使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离,对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色差。 1)球差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力 不同而造成的。远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害的 多,以致两者不交在一点上,结果在象平面成了一个满散圆斑,半 径为 r=mc a3 还原到物平面,则 M s为球差系数,最佳值是0.3mm。 C为孔径角,透镜分辨本领随增大而迅速变坏
17 1.4 电子透镜的缺陷和理论分辨距离 电子透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离，对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色差。 1） 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力 不同而造成的。远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害的 多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个满散圆斑，半 径为 还原到物平面，则 为球差系数，最佳值是0.3 mm 。 为孔径角，透镜分辨本领随 增大而迅速变坏