电子显微分析 2001年7月
1 电子显微分析 2001年7月
基本内容 1电镜的结构与成象 2电镜中的电子衍射及分析 )斑点花样(原理、实验方法、指数标定及应用) 2)菊池线花样(原理、指数标定、应用) 3)会聚书束花样(原理、实验方法、指数标定及应用) 3电镜显微图象解释 )复形象 2)衍衬象 3)相位象 4扫描电子显微术 5X射线显微分析和俄歇能谱分析
2 基本内容 ◼ 1 电镜的结构与成象 ◼ 2 电镜中的电子衍射及分析 1）斑点花样（原理、实验方法、指数标定及应用） 2）菊池线花样 （原理、指数标定、应用） 3）会聚书束花样 （原理、实验方法、指数标定及应用） ◼ 3 电镜显微图象解释 1）复形象 2）衍衬象 3）相位象 ◼ 4 扫描电子显微术 ◼ 5 X射线显微分析和俄歇能谱分析
第一章电镜的结构与成象 1.1光学显微镜的局限性 )一个世纪以来,人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组 织,借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分 辨本领有限,对诸如合金中的G.P区(几十埃)无能为力 2)最小分辨距离计算公式 d=Q61- 其中d—1 最小分辨距离sina n 波长 透镜周围的折射率 透镜对物点张角的一半,n·sinc称为数值孔径,用N.A 表
3 第一章 电镜的结构与成象 1.1 光学显微镜的局限性 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组 织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分 辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 sin . = n d sin . = n d d
3)由于光的衍射,使得由物平面内的点01、02在象平面形成 B1、B2圆斑(Airy斑)。若O1、02靠的太近,过分重叠,图象 就模糊不清。 强度 Md B 图(a)点01、O2形成两个Airy斑;图(b)是强度分布
4 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一 B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象 就模糊不清。 O1 O2 d L B2 B1 Md D 强度 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。 （a） （b）
0.81I 图(c)两个Airy斑 图(d)两个Airy斑图(e)两个Airy斑 明显可分辨出。 刚好可分辨出。 分辨不出。 5
5 图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。 图（d）两个Airy斑 刚好可分辨出。 图（e）两个Airy斑 分辨不出。 I 0.81I