南京理工大学NANJINGUNIVERSITYOFSOIENOE&TEGHNOLOGY城责实验二等离子体增强化学气相沉积方法制备类金刚石薄膜实验汤州理工天
实验二 等离子体增强化学气相沉积 方法制备类金刚石薄膜实验
南京理工大学提纲NANIINGUNIVERSTTYOFSOIENOE&TEGHNOLOGY一、实验目的TIOFSCIENCE二、实验内容三、实验仪器设备和材料四、实验原理五、实验方法和步骤六、实验报告要求七、实验注意事项汾八、思考题理工大州
一、实验目的 二、实验内容 三、实验仪器设备和材料 四、实验原理 五、实验方法和步骤 六、实验报告要求 七、实验注意事项 八、思考题 提纲：
南京理工实验日的NANIING UNIMSEYOSCIENCR（1）通本实验使学生了解气体辉光放电的原理和过程（2）使学生了解并熟悉直流辉光放电等离子体化学气相沉积系统的结构和使用方法。（3）掌握等离子体化学气相沉积薄膜的工艺原理及在基片上沉积类金刚石薄膜的工艺过程。汤州理工大
一、实验目的 （1）通本实验使学生了解气体辉光放电的原理和过程。 （2）使学生了解并熟悉直流辉光放电等离子体化学气相沉积系统的 结构和使用方法。 （3）掌握等离子体化学气相沉积薄膜的工艺原理及在基片上沉积类 金刚石薄膜的工艺过程
南京理工实验内容NANHINGTNAERSIYSCISNERSITY（1）高真空的获得与测量（2）等离子体的产生。（3）设定实验工艺参数、利用直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜汤州理工大
二、实验内容 （1）高真空的获得与测量。 （2）等离子体的产生。 （3）设定实验工艺参数、利用直流辉光放电等离子体增 强化学气相沉积类金刚石薄膜
实验仪器设备和材料SCISNCE（1）试样:玻璃基片、硅基片、氩气、甲烷、乙炔、氮气、丙酮、酒精(2）实验设备：超声清洗器；直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积系统汾理工大W
三、实验仪器设备和材料 （１）试样： 玻璃基片、硅基片、氩气、甲烷、乙炔、氮气、丙酮、酒精。 （２）实验设备： 超声清洗器； 直流辉光放电等离子体增强化学气相沉积系统