大学直流辉光放电等离子体化学气相沉积类金刚石薄膜是利用高压直流负偏压（-1~-5kV），使低压碳氢气体发生辉光放电从而产生等离子体，等离子体在电场作用下沉积到基片上并形成类金刚石薄膜800toota重M←B5VmN21????0?网网工网7灰TL网网20mh20mlhRobaryoill painpRotaryollpunC2H2CH42N2汤望天直流辉光放电PECVD沉积系统示意图
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南京理工大学NANIINGUNIERSITYOESOIENGE&TEGHNOLOGY主要组件：真空室组件、直流电源、基片水冷加热台、窗口及法兰接口部件、工作气路、抽气机组（机械泵和分子泵）、阀门及管道、真空测量及电控系统
➢主要组件：真空室组件、直流电源、基片水冷加热台、窗口及法兰接口 部件、工作气路、抽气机组（机械泵和分子泵）、阀门及管道、真空测量 及电控系统
四实验原理NA（1）化学气相沉积制备薄膜介绍（2）直流辉光放电等离子体化学气相沉积（3）类金刚石薄膜简介理工
四、实验原理 （１）化学气相沉积制备薄膜介绍 （２）直流辉光放电等离子体化学 气相沉积 （３）类金刚石薄膜简介